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AEG 1S 400-170 HRL1 2000000897

描述(shù)：AEG

作為擁(yōng)有36年以上歷史的直流(liú)電源產(chǎn)品*企業(yè)，AE 為(wéi)成千(qiān)上(shàng)萬的(dí)客戶(hù)提供服(fú)務，通過(guò)下列(liè)優(yōu)勢，解(jiě)決客(kè)戶復雜的工藝(yì)問題，為(wéi)客戶(hù)創造(zào)價值：

更新(xīn)時間(jiān)：2026-05-07
產品(pǐn)型號(hào)：
廠商性質：經銷商
訪問次(cì)數：1075
詳情介紹

AEG

 

  • 作(zuò)為擁有36年(nián)以(yǐ)上歷(lì)史(shǐ)的(dí)直流(liú)電源產品(pǐn)*企(qǐ)業(yè)，AE 為全(quán)球成千上(shàng)萬(wàn)的(dí)客戶(hù)提供服(fú)務(wù)，通過(guò)下列(liè)優(yōu)勢(shì)，解決(jué)客戶(hù)復(fù)雜(zá)的(dí)工藝問題(tí)，為客戶創造(zào)價(jià)值：
  • 高產量
  • 靶材使用壽命的延長(cháng)，利用(yòng)率提(tí)高
  • 係統(tǒng)正常(cháng)運行(háng)時間的延長(cháng)
  • 應用(yòng)支持(chí)人員
  • 全(quán)球支持(chí)能力(lì)

  • AE 的直流電源產品主要通過物(wù)理(lǐ)氣(qì)相沉(chén)積(jī)市(shì)場上(shàng)主(zhǔ)要使用(yòng)的物理(lǐ)氣象沉積工(gōng)藝(yì)——合(hé)金(jīn)濺射以(yǐ)及與(yǔ)有反應氣(qì)體(tǐ)參(cān)與的反應(yīng)濺射(shè)，AE電(diàn)源廣泛應用於(yú)以下製造市(shì)場(cháng)，包括(kuò)：
     
  • 導體（銅，鋁(lǚ)，鉭(tǎn)，鈦以及更新的(dí)異類材料）
  • 板顯示(shì)器(qì)（薄(báo)膜(mó)晶體(tǐ)管(guǎn)，彩色(sè)濾光片，有(yǒu)機 LED）
  • 據(jù)存(cún)儲（光存儲(chǔ)，磁存儲(chǔ)以(yǐ)及(jí)磁光存(cún)儲相(xiāng)結(jié)合(hé)）
  • 陽能(néng)光(guāng)伏電池(chí)（透明導電氧化物和(hé)矽沉積(jī)）
  • 築玻璃(lí)
  • 進產品(pǐn)應用(yòng)（用於光學(xué)裝置(zhì)，工具塗(tú)層，塑料(liào)等的薄(báo)膜）
  •  
  • Litmas® RPS 1501和3001遠(yuǎn)程(chéng)等(děng)離(lí)子源平台
  • Litmas® RPS 是(shì)采用(yòng)高傳(chuán)導，低表(biǎo)麵麵積(jī)結構的(dí)*整合遠程(chéng)感(gǎn)應(yīng)式等(děng)離子源和供(gōng)電係統。非(fēi)常適(shì)合為晶圓預清洗，光(guāng)致(zhì)抗(kàng)蝕(shí)劑(jì)剝離和原子層沉積(jī) (ALD) 等工藝提供(gōng)反(fǎn)應(yīng)氣體。此外，其(qí)大功率密(mì)度(dù)和高傳導(dǎo)性使其(qí)成為後處(chǔ)理廢氣(qì)治理的理想平台(tái)。
  • Litmas RPS 可在(zài)不(bù)到3毫(háo)秒(miǎo)的時間內提供高(gāo)達(dá)3 kW 的(dí)穩定射(shè)頻功(gōng)率(shuài)，從(cóng)而能(néng)夠實(shí)現(xiàn)90 nm 和(hé)300 nm製(zhì)程的快(kuài)速(sù)變(biàn)化。
  •  
  • 優勢
  • 特點(diǎn)
  • 減少了(liǎo)對(duì)易(yì)損(sǔn)設備(bèi)結(jié)構的(dí)電荷(hé)損傷
  • 高反(fǎn)應(yīng)活性物焊劑生成
  • 廣(guǎng)泛的工藝化學(xué)範圍
  • 快速匹(pǐ)配(pèi)，穩定的供電(diàn)
  • 持有成(chéng)本(běn)降(jiàng)低
  • 增(zēng)強(qiáng)終端用(yòng)戶(hù)工(gōng)藝開(kāi)發和輸出(chū)量(liáng)
  • 整合式(shì)電(diàn)源，匹配和(hé)等離(lí)子腔(qiāng)室(shì)
  • 獲(huò)得的 LitmasMatch™ 固態(tài)供電拓撲(pū)結構(gòu)
  • 即插即用(yòng)的安裝
  • 廣(guǎng)泛(fàn)的匹配(pèi)範圍
  • 耐用(yòng)的(dí) SiO2 或 Al2O3 腔室材料
  • 尺(chǐ)寸小
  • 高(gāo)的(dí)等離子功率密度
  • 源(yuán)與(yǔ)源之間(jiān)的變(biàn)化極(jí)小
  • Litmas® RPS 前極管道(dào) PFC 治(zhì)理
  • Litmas® RPS 係統是一種(zhǒng)前極(jí)管道治(zhì)理解決方案，可(kě)減少半導(dǎo)體製(zhì)程的全球變暖影響。這個(gè)高性能(néng)的綫性(xìng)感(gǎn)應式(shì)等(děng)離(lí)子源*整(zhěng)合(hé)了2 MHz 電源和(hé)匹(pǐ)配電路。其(qí)在 CVD，蝕(shí)刻和灰(huī)化應用(yòng)中的阻(zǔ)抗(kàng)使用(yòng)範圍(wéi)很(hěn)廣(guǎng)。
  •  
  • 優勢(shì)
  • 特(tè)點
  • 以很(hěn)高的(dí)破壞效率，有效地(dì)治理對環(huán)境有(yǒu)害的 PFC 氣體(tǐ)
  • 降(jiàng)低(dī)了總(zǒng)治理成本
  • 使(shǐ)前(qián)極(jí)管道(dào)的壓力影(yǐng)響(xiǎng)降(jiàng)至(zhì)低(dī)
  • 大的功(gōng)率效(xiào)率和工(gōng)藝靈活性(xìng)
  • 在各種(zhǒng)化(huà)學(xué)反應中始終(zhōng)如(rú)一的(dí)性(xìng)能(néng)和可靠(kào)性(xìng)
  • 無縫(féng)整(zhěng)合，無(wú)工藝影響
  •  
  •  
  • Xstream® 遠程等離子源
  • 高(gāo)效 Xstream® 遠程等離子(zǐ)源平(píng)台(tái)產生來(lái)自(zì)穩(wěn)定(dìng)的原(yuán)料氣體的中性活性種(zhǒng)，用(yòng)於(yú)表(biǎo)麵(miàn)改(gǎi)性，腔(qiāng)室(shì)清洗(xǐ)，薄(báo)膜蝕(shí)刻(kè)以(yǐ)及(jí)等離子輔助沉(chén)積。

    安裝在(zài)工(gōng)藝腔室(shì)外的 Xstream 平台整(zhěng)合(hé)了遠(yuǎn)程(chéng)等(děng)離子(zǐ)源(yuán)，6 kW 或8 kW 的(dí)高(gāo)效(xiào)電源以(yǐ)及獲(huò)得(dé)的固態主動(dòng)式(shì)匹(pǐ)配(pèi)網(wǎng)絡(luò)。該網絡在一個腔(qiāng)室(shì)清(qīng)洗(xǐ)源上(shàng)擁有寬(kuān)的商(shāng)業化(huà)阻抗運行範(fàn)圍。Xstream 遠程等離(lí)子(zǐ)源(yuán)讓工藝工(gōng)程師(shī)擁有的(dí)反應氣(qì)體工(gōng)藝靈(líng)活(huó)性，從(cóng)而(ér)提(tí)高了(liǎo)係統(tǒng)吞(tūn)吐(tǔ)量，優(yōu)化了(liǎo)昂貴(guì)資源的使(shǐ)用(yòng)。
  •  
  •  
  • 優(yōu)點
  • 功(gōng)能
  • 優化昂(áng)貴資(zī)源(yuán)的(dí)使用
  • 提(tí)供寬(kuān)的商(shāng)業化(huà)阻抗運行範圍
  • 可(kě)在(zài)各種(zhǒng)化(huà)學(xué)反應(yīng)下無(wú)縫運行，包括現(xiàn)有的 PFC/O2 就(jiù)地腔室(shì)清洗(xǐ)方法(fǎ)
  • 提高工(gōng)藝(yì)性能(néng)，靈活(huó)性(xìng)和吞吐量(liáng)
  • 能(néng)夠對(duì)就地和(hé)遠程(chéng) VCD 腔(qiāng)室(shì)清(qīng)洗進行簡化(huà)改進(jìn)
  • 利用之(zhī)前(qián)獲得(dé)的 AE 主動式匹配網(wǎng)絡技(jì)術(shù)
  • 固態板(bǎn)上(shàng)主動式匹配網(wǎng)絡
  • *整合(hé)式高(gāo)效400 kHz 電(diàn)源
  • 可選的虛擬前麵(miàn)板(bǎn) (VFP) 直觀，即時，基於軟件的用(yòng)戶(hù)界麵
  • 耗水量小(xiǎo)
  • 陽極硬(yìng)化，細微(wēi)粒，防(fáng)腐金屬源腔室
  • 可(kě)測量(liáng)對等(děng)離子的實際供電之監控電(diàn)路
  • 用於係統(tǒng)整(zhěng)合和監(jiān)控(kòng)的(dí)讀回(huí)信號(hào)
  •  
  • AE Xstream 不允(yǔn)許在美國(guó)或歐洲銷售。 
  • AEG
  • Advanced Energy Industries GmbH
  • AEG
  • AEG Power Solutions
  • AEG
  • AEG Power Solutions
  • AEG
  • rosystec GmbH（AEG Power）
  • AEG
  • AM 56Z BA 4
  • AEG
  • AM80ZBA4 NO.30126844 0020
  • AEG
  • AM71Z BA4
  • AEG
  • 0.37kw 8 pole AM90SAA8 AEG/Lafert
  • AEG
  • Thyro-A 2A 400-495 HF RL1 - 2.000.002.359
  • AEG
  • Thyro-A 2A 400-280 HF 1
  • AEG
  • 1S 400-170 HRL1 2000000897
  • AEG
  • THYRO P -1P 400 495HF
  • AEG
  • Thyro-A 2A 400-100 H RL1
  • AEG
  • Thyro-A 1A 400-60 H RLP1
  • AEG
  • Thyro-A 1A 400-45 H RLP1
  • AEG
  • Thyro-A 1A 400-30 H RLP1
  • AEG
  • Thyro-A 2A 400-280 HF 1
  • AEG
  • 2.000.000.400
  • AEG
  • Thyro-A 2A 400-170 H RL1-2.000.001.077
  • AEG
  • Thyro-A 2A 400-495 HF RLP1-2.000.002.395
  • AEG
  • Profibus-Steckkarte Nr:2.000.000.393
  • AEG
  • Thyro-A 2A 400-170 H RLP1
  • AEG
  • 2000000841 Busmodule Profibus DP
  • AEG
  • Thyro-A 2A 400-130 H 1
  • AEG
  • Thyro-S 1S 400-130 H RL1 - 2.000.000.896
  • AEG
  • Modell:AM 80Z CA 4 （B5 flange mounted ）1.1KW
  • AEG
  • Thyro-A 2A 400-60 H 1 - 2.000.001.014
  • AEG
  • Thyro-A 2A 400-170 H RL1-2.000.001.077
  • AEG
  • Thyro-A 2A 400-495 HF RL1 - 2.000.002.359
  • AEG
  • 1S400-100H RL1
  • AEG
  • 2.000.000.400
  • AEG
  • Profibus-Steckkarte Nr:2.000.000.393
  • AEG
  • Thyro-P 1P500-495HFASM
  • AEG
  • 1 Thyro-P Steuerger?t 2000000403
  • AEG
  • Thyro-A 2A400-130H1
  • AEG
  • Thyro-S 1S 400-45 H RL1-2.000.000.893
  • AEG
  • Thyro-P 1P500-37HASM
  • AEG
  • Thyro-P 1P500-280HFASM
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  • Thyro-P 1P500-110HASM
  • AEG
  • Thyro-P 1P400-25HASM
  • AEG
  • THYRO P -1P 400 495HF
  • AEG
  • 6.000.016.474
  • AEG
  • Thyro-A 2A400-495HF RL1
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  • 1S 400-130 H RL1
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  • 1S 400-100 H RL1
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  • AE 28 TDG 440D

AEG 1S 400-170 HRL1 2000000897

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