AEG

• 作為(wéi)擁有36年以上(shàng)歷(lì)史(shǐ)的(dí)直流電源(yuán)產品*企(qǐ)業，AE 為全(quán)球成千(qiān)上萬(wàn)的(dí)客戶提(tí)供(gōng)服務，通過下列(liè)優(yōu)勢(shì)，解決客戶復雜的(dí)工藝問題，為客(kè)戶(hù)創造(zào)價值(zhí)
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• 高產量
• 靶材使用壽(shòu)命(mìng)的(dí)延長，利用率提高(gāo)
• 係統(tǒng)正(zhèng)常運行(háng)時間的延長(cháng)
• 應(yīng)用支(zhī)持(chí)人(rén)員
• 全球(qiú)支持(chí)能力
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  AE 的(dí)直流(liú)電源(yuán)產品主要通過物理氣相沉積(jī)市(shì)場(cháng)上主(zhǔ)要使(shǐ)用(yòng)的(dí)物理氣(qì)象(xiàng)沉(chén)積工藝(yì)——合金濺射以(yǐ)及與(yǔ)有(yǒu)反(fǎn)應氣體參與的(dí)反應濺(jiàn)射，AE電源(yuán)廣泛應用於(yú)以(yǐ)下(xià)製(zhì)造市(shì)場，包括
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• 導(dǎo)體（銅(tóng)，鋁(lǚ)，鉭，鈦以及(jí)更新(xīn)的(dí)異(yì)類材料(liào)）
• 板顯示(shì)器（薄膜(mó)晶體管，彩(cǎi)色(sè)濾(lǜ)光片，有(yǒu)機(jī) LED）
• 據存(cún)儲（光存儲，磁(cí)存儲(chǔ)以及(jí)磁光存(cún)儲相結(jié)合）
• 陽能光(guāng)伏電池（透明(míng)導(dǎo)電氧(yǎng)化物(wù)和矽沉積(jī)）
• 築玻璃(lí)
• 進產(chǎn)品應用（用(yòng)於光學(xué)裝(zhuāng)置(zhì)，工具塗(tú)層(céng)，塑料(liào)等的薄(báo)膜）
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• Litmas® RPS 1501和3001遠程等離子(zǐ)源(yuán)平(píng)台(tái)
• Litmas® RPS 是采用高傳導，低表麵(miàn)麵積結構的(dí)*整(zhěng)合(hé)遠程感(gǎn)應式等離(lí)子(zǐ)源(yuán)和供(gōng)電係統。非(fēi)常適(shì)合(hé)為(wéi)晶(jīng)圓(yuán)預清洗(xǐ)，光致抗(kàng)蝕劑剝離和(hé)原(yuán)子層(céng)沉積 (ALD) 等(děng)工(gōng)藝提(tí)供反應氣體。此外(wài)，其(qí)大功率密(mì)度(dù)和高傳導性(xìng)使(shǐ)其成(chéng)為後處(chǔ)理廢氣(qì)治理(lǐ)的(dí)理想平台。
• Litmas RPS 可在不到3毫秒的時(shí)間(jiān)內提供(gōng)高達3 kW 的(dí)穩定(dìng)射頻功率，從(cóng)而(ér)能(néng)夠(gòu)實現90 nm 和300 nm製(zhì)程的(dí)快速變化。
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• Litmas® RPS 前(qián)極(jí)管道 PFC 治(zhì)理(lǐ)
• Litmas® RPS 係統(tǒng)是一(yī)種前極(jí)管(guǎn)道(dào)治理(lǐ)解決方案(àn)，可減少半(bàn)導體製程的全(quán)球變暖影響。這個高性(xìng)能(néng)的綫(xiàn)性(xìng)感應(yīng)式等(děng)離子源(yuán)*整合了(liǎo)2 MHz 電(diàn)源(yuán)和(hé)匹(pǐ)配電路。其在 CVD，蝕刻和灰(huī)化(huà)應用(yòng)中的(dí)阻抗(kàng)使用(yòng)範圍(wéi)很廣。
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• Xstream® 遠程(chéng)等離(lí)子(zǐ)源(yuán)
• 高效(xiào) Xstream® 遠程等(děng)離子(zǐ)源平台(tái)產生(shēng)來(lái)自穩定(dìng)的原(yuán)料(liào)氣體(tǐ)的中性活性種，用(yòng)於表(biǎo)麵(miàn)改性，腔(qiāng)室清(qīng)洗，薄(báo)膜蝕刻以及等離(lí)子(zǐ)輔助(zhù)沉積。
  
  安裝在工藝(yì)腔(qiāng)室外的(dí) Xstream 平台(tái)整合了遠(yuǎn)程(chéng)等(děng)離(lí)子(zǐ)源(yuán)，6 kW 或8 kW 的(dí)高(gāo)效(xiào)電源以及(jí)獲得(dé)的(dí)固態主(zhǔ)動式匹配網絡(luò)。該網(wǎng)絡在(zài)一個腔室清洗源上(shàng)擁(yōng)有(yǒu)寬的商(shāng)業(yè)化阻抗(kàng)運(yùn)行(háng)範圍。Xstream 遠程(chéng)等離子(zǐ)源(yuán)讓工藝工程師擁(yōng)有的(dí)反(fǎn)應(yīng)氣體工藝靈(líng)活性，從(cóng)而提高了係統吞(tūn)吐(tǔ)量，優(yōu)化了昂貴資(zī)源(yuán)的使用(yòng)。
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• AE Xstream 不允許(xǔ)在(zài)美國(guó)或歐洲(zhōu)銷(xiāo)售(shòu)。 

AEG Thyro-A 2A 400-280 HF 1

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