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AEG Thyro-A 2A 400-495 HF RL1

描(miáo)述：AEG

作為擁(yōng)有36年(nián)以(yǐ)上(shàng)歷史(shǐ)的直流電源(yuán)產品(pǐn)*企業，AE 為成(chéng)千(qiān)上(shàng)萬的(dí)客(kè)戶(hù)提供服務，通過(guò)下列(liè)優勢，解(jiě)決客戶(hù)復(fù)雜的工藝問題，為(wéi)客(kè)戶創造(zào)價(jià)值(zhí)：

更新(xīn)時間：2026-05-07
產(chǎn)品(pǐn)型號：
廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
訪問次(cì)數：949
詳情(qíng)介紹

AEG

 

  • 作(zuò)為(wéi)擁有36年(nián)以上(shàng)歷史的直流電(diàn)源產(chǎn)品*企業，AE 為全(quán)球成(chéng)千(qiān)上萬的客(kè)戶(hù)提(tí)供(gōng)服(fú)務，通過(guò)下列優(yōu)勢(shì)，解(jiě)決(jué)客(kè)戶(hù)復雜(zá)的(dí)工藝問題(tí)，為客(kè)戶創造價值(zhí)：
  • 高產量(liáng)
  • 靶材使(shǐ)用(yòng)壽(shòu)命的(dí)延長(cháng)，利用(yòng)率(shuài)提(tí)高
  • 係(xì)統(tǒng)正常(cháng)運(yùn)行(háng)時間的延長(cháng)
  • 應(yīng)用(yòng)支持人員(yuán)
  • 全(quán)球(qiú)支持(chí)能(néng)力

  • AE 的直(zhí)流(liú)電(diàn)源(yuán)產品主(zhǔ)要通過物理(lǐ)氣相(xiāng)沉(chén)積(jī)市(shì)場上主要(yào)使(shǐ)用(yòng)的物(wù)理(lǐ)氣(qì)象沉(chén)積(jī)工藝——合(hé)金濺射以及與有反應氣體參與(yǔ)的反應濺射(shè)，AE電源(yuán)廣泛(fàn)應用(yòng)於以(yǐ)下製造(zào)市場，包(bāo)括：
     
  • 導體(tǐ)（銅(tóng)，鋁，鉭，鈦(tài)以及(jí)更新的(dí)異(yì)類(lèi)材(cái)料）
  • 板顯示(shì)器（薄膜(mó)晶(jīng)體(tǐ)管(guǎn)，彩色濾光(guāng)片(piàn)，有(yǒu)機 LED）
  • 據存儲（光(guāng)存儲，磁存儲以及磁光存儲相(xiāng)結合(hé)）
  • 陽(yáng)能(néng)光(guāng)伏電(diàn)池(chí)（透明導電(diàn)氧化物和矽(guī)沉積）
  • 築玻璃(lí)
  • 進(jìn)產品應用（用(yòng)於(yú)光(guāng)學裝(zhuāng)置，工具(jù)塗層(céng)，塑料等(děng)的薄膜(mó)）
  •  
  • Litmas® RPS 1501和(hé)3001遠程(chéng)等離子源(yuán)平台(tái)
  • Litmas® RPS 是(shì)采(cǎi)用(yòng)高傳(chuán)導，低(dī)表(biǎo)麵麵(miàn)積結構的*整(zhěng)合遠(yuǎn)程(chéng)感(gǎn)應式等離(lí)子源(yuán)和(hé)供電(diàn)係統(tǒng)。非(fēi)常適(shì)合(hé)為晶(jīng)圓預(yù)清洗，光(guāng)致(zhì)抗蝕(shí)劑(jì)剝(bāo)離和原(yuán)子(zǐ)層沉積(jī) (ALD) 等工藝(yì)提供反應(yīng)氣體。此(cǐ)外(wài)，其大功率(shuài)密度和(hé)高傳導性使其成為(wéi)後(hòu)處理(lǐ)廢(fèi)氣治(zhì)理(lǐ)的理(lǐ)想平台。
  • Litmas RPS 可(kě)在(zài)不(bù)到3毫(háo)秒的(dí)時(shí)間內提供(gōng)高達3 kW 的穩(wěn)定(dìng)射頻功(gōng)率，從(cóng)而(ér)能(néng)夠(gòu)實(shí)現(xiàn)90 nm 和300 nm製程(chéng)的快速(sù)變(biàn)化。
  •  
  • 優勢(shì)
  • 特點
  • 減少(shǎo)了對易損設(shè)備(bèi)結(jié)構的(dí)電荷損(sǔn)傷
  • 高反應(yīng)活性(xìng)物焊(hàn)劑(jì)生(shēng)成(chéng)
  • 廣泛的工藝(yì)化學範(fàn)圍
  • 快速匹配，穩定的供電
  • 持(chí)有成(chéng)本降低(dī)
  • 增強終端用(yòng)戶(hù)工藝開(kāi)發(fā)和輸(shū)出(chū)量
  • 整合式(shì)電(diàn)源，匹配和等離(lí)子腔(qiāng)室
  • 獲(huò)得(dé)的(dí) LitmasMatch™ 固態供電拓(tuò)撲結(jié)構(gòu)
  • 即(jí)插即(jí)用的安(ān)裝
  • 廣泛(fàn)的匹(pǐ)配(pèi)範(fàn)圍(wéi)
  • 耐用(yòng)的 SiO2 或 Al2O3 腔室材料(liào)
  • 尺寸(cùn)小(xiǎo)
  • 高的等(děng)離子功率密度
  • 源與源之(zhī)間的(dí)變化極(jí)小
  • Litmas® RPS 前極(jí)管(guǎn)道 PFC 治(zhì)理
  • Litmas® RPS 係統是一種前極管道(dào)治理解決方案，可(kě)減少(shǎo)半導(dǎo)體(tǐ)製程的全球變(biàn)暖影響。這個高(gāo)性能(néng)的(dí)綫(xiàn)性感應(yīng)式(shì)等離子源*整合了(liǎo)2 MHz 電源(yuán)和匹配電(diàn)路(lù)。其在(zài) CVD，蝕刻(kè)和灰(huī)化(huà)應用(yòng)中的(dí)阻(zǔ)抗(kàng)使用範圍(wéi)很廣。
  •  
  • 優勢
  • 特(tè)點(diǎn)
  • 以(yǐ)很(hěn)高的(dí)破壞效率，有效地(dì)治(zhì)理(lǐ)對環境有(yǒu)害的 PFC 氣體
  • 降(jiàng)低(dī)了總(zǒng)治理成本
  • 使(shǐ)前極(jí)管(guǎn)道(dào)的壓力影響降至(zhì)低
  • 大(dà)的(dí)功率(shuài)效率和工(gōng)藝(yì)靈(líng)活(huó)性(xìng)
  • 在各種化學反應中(zhōng)始(shǐ)終如一(yī)的性(xìng)能和可靠(kào)性
  • 無縫(féng)整合(hé)，無工藝(yì)影響(xiǎng)
  •  
  •  
  • Xstream® 遠(yuǎn)程等離子源(yuán)
  • 高效(xiào) Xstream® 遠程等(děng)離子(zǐ)源(yuán)平台產(chǎn)生來(lái)自穩(wěn)定(dìng)的(dí)原料(liào)氣體的中(zhōng)性(xìng)活性種，用(yòng)於表(biǎo)麵(miàn)改(gǎi)性，腔室(shì)清(qīng)洗，薄膜蝕刻以(yǐ)及(jí)等(děng)離子(zǐ)輔助沉(chén)積。

    安裝(zhuāng)在(zài)工(gōng)藝腔室(shì)外(wài)的 Xstream 平(píng)台整合(hé)了遠程(chéng)等(děng)離(lí)子源(yuán)，6 kW 或8 kW 的(dí)高效(xiào)電(diàn)源(yuán)以及(jí)獲得的(dí)固(gù)態主(zhǔ)動式匹(pǐ)配網絡。該(gāi)網(wǎng)絡在一(yī)個(gè)腔室清洗(xǐ)源上(shàng)擁有(yǒu)寬的商業(yè)化(huà)阻(zǔ)抗運行範圍。Xstream 遠(yuǎn)程等離(lí)子(zǐ)源讓工(gōng)藝工程(chéng)師擁有的反應(yīng)氣(qì)體工(gōng)藝(yì)靈(líng)活性，從而提高(gāo)了係統吞吐(tǔ)量，優(yōu)化了昂(áng)貴資源(yuán)的使用(yòng)。
  •  
  •  
  • 優點(diǎn)
  • 功能
  • 優化昂貴資源的(dí)使(shǐ)用(yòng)
  • 提供寬的商業化阻抗(kàng)運行範圍
  • 可(kě)在(zài)各種(zhǒng)化學反應下無縫(féng)運行，包(bāo)括(kuò)現(xiàn)有(yǒu)的(dí) PFC/O2 就地腔室清(qīng)洗方(fāng)法(fǎ)
  • 提高(gāo)工(gōng)藝性能，靈活性和(hé)吞吐(tǔ)量
  • 能夠對(duì)就地(dì)和遠(yuǎn)程 VCD 腔室清洗(xǐ)進行(háng)簡(jiǎn)化改(gǎi)進
  • 利用之前(qián)獲得的 AE 主(zhǔ)動(dòng)式匹配(pèi)網絡技術(shù)
  • 固態(tài)板上主(zhǔ)動式匹配(pèi)網(wǎng)絡(luò)
  • *整(zhěng)合式(shì)高(gāo)效400 kHz 電源
  • 可(kě)選的虛(xū)擬(nǐ)前(qián)麵板 (VFP) 直(zhí)觀，即時，基於(yú)軟(ruǎn)件的(dí)用(yòng)戶(hù)界麵
  • 耗水量(liáng)小
  • 陽極(jí)硬化，細(xì)微(wēi)粒，防(fáng)腐(fǔ)金屬(shǔ)源(yuán)腔室
  • 可測量對等離子的實際(jì)供電之監(jiān)控(kòng)電路
  • 用於(yú)係統整(zhěng)合(hé)和(hé)監控的讀回(huí)信號
  •  
  • AE Xstream 不(bù)允(yǔn)許在(zài)美國或(huò)歐洲(zhōu)銷(xiāo)售(shòu)。 
  • AEG
  • Advanced Energy Industries GmbH
  • AEG
  • AEG Power Solutions
  • AEG
  • AEG Power Solutions
  • AEG
  • rosystec GmbH（AEG Power）
  • AEG
  • AM 56Z BA 4
  • AEG
  • AM80ZBA4 NO.30126844 0020
  • AEG
  • AM71Z BA4
  • AEG
  • 0.37kw 8 pole AM90SAA8 AEG/Lafert
  • AEG
  • Thyro-A 2A 400-495 HF RL1 - 2.000.002.359
  • AEG
  • Thyro-A 2A 400-280 HF 1
  • AEG
  • 1S 400-170 HRL1 2000000897
  • AEG
  • THYRO P -1P 400 495HF
  • AEG
  • Thyro-A 2A 400-100 H RL1
  • AEG
  • Thyro-A 1A 400-60 H RLP1
  • AEG
  • Thyro-A 1A 400-45 H RLP1
  • AEG
  • Thyro-A 1A 400-30 H RLP1
  • AEG
  • Thyro-A 2A 400-280 HF 1
  • AEG
  • 2.000.000.400
  • AEG
  • Thyro-A 2A 400-170 H RL1-2.000.001.077
  • AEG
  • Thyro-A 2A 400-495 HF RLP1-2.000.002.395
  • AEG
  • Profibus-Steckkarte Nr:2.000.000.393
  • AEG
  • Thyro-A 2A 400-170 H RLP1
  • AEG
  • 2000000841 Busmodule Profibus DP
  • AEG
  • Thyro-A 2A 400-130 H 1
  • AEG
  • Thyro-S 1S 400-130 H RL1 - 2.000.000.896
  • AEG
  • Modell:AM 80Z CA 4 （B5 flange mounted ）1.1KW
  • AEG
  • Thyro-A 2A 400-60 H 1 - 2.000.001.014
  • AEG
  • Thyro-A 2A 400-170 H RL1-2.000.001.077
  • AEG
  • Thyro-A 2A 400-495 HF RL1 - 2.000.002.359
  • AEG
  • 1S400-100H RL1
  • AEG
  • 2.000.000.400
  • AEG
  • Profibus-Steckkarte Nr:2.000.000.393
  • AEG
  • Thyro-P 1P500-495HFASM
  • AEG
  • 1 Thyro-P Steuerger?t 2000000403
  • AEG
  • Thyro-A 2A400-130H1
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  • Thyro-S 1S 400-45 H RL1-2.000.000.893
  • AEG
  • Thyro-P 1P500-37HASM
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  • Thyro-P 1P500-280HFASM
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  • Thyro-P 1P500-110HASM
  • AEG
  • Thyro-P 1P400-25HASM
  • AEG
  • THYRO P -1P 400 495HF
  • AEG
  • 6.000.016.474
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  • Thyro-A 2A400-495HF RL1
  • AEG
  • 1S 400-130 H RL1
  • AEG
  • 1S 400-100 H RL1
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  • AE 28 TDG 440D

AEG Thyro-A 2A 400-495 HF RL1 - 2.000.002.359

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