AEG 0.37kw 8 pole AM90SAA8 AEG/Lafert

描述：AEG

作為(wéi)擁有(yǒu)36年以(yǐ)上(shàng)歷史(shǐ)的(dí)直流電源產(chǎn)品(pǐn)*企業(yè)，AE 為(wéi)成千(qiān)上萬(wàn)的客(kè)戶提供服務，通過(guò)下列優勢(shì)，解決客戶(hù)復(fù)雜(zá)的工(gōng)藝問題(tí)，為(wéi)客(kè)戶(hù)創造價值：

更新時間：2026-05-07

產品型(xíng)號：

廠(chǎng)商性(xìng)質：經銷商

訪(fǎng)問次數：1070

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詳情介(jiè)紹

AEG

作為擁(yōng)有(yǒu)36年以上歷史(shǐ)的(dí)直流(liú)電源產(chǎn)品*企業，AE 為全球成千上(shàng)萬(wàn)的(dí)客戶提供(gōng)服務(wù)，通過下(xià)列(liè)優勢，解(jiě)決客(kè)戶(hù)復雜的(dí)工藝問題，為客戶(hù)創(chuàng)造(zào)價值(zhí)：
高產(chǎn)量(liáng)
靶材(cái)使用壽(shòu)命(mìng)的延(yán)長，利用率提高
係統正常運行(háng)時間(jiān)的延長
應(yīng)用(yòng)支持人員(yuán)
全球支持能(néng)力
AE 的直(zhí)流(liú)電源產品主要(yào)通(tōng)過物(wù)理氣相(xiāng)沉積市場上主要(yào)使用的物理氣象沉(chén)積工(gōng)藝——合金(jīn)濺(jiàn)射(shè)以(yǐ)及(jí)與有反應(yīng)氣(qì)體參與(yǔ)的(dí)反(fǎn)應濺(jiàn)射(shè)，AE電(diàn)源(yuán)廣泛(fàn)應用於(yú)以(yǐ)下(xià)製造市場(cháng)，包括：
導體（銅，鋁，鉭，鈦以及更新(xīn)的(dí)異類材料）
板顯(xiǎn)示(shì)器（薄(báo)膜晶(jīng)體管(guǎn)，彩色濾(lǜ)光片，有(yǒu)機(jī) LED）
據(jù)存儲(chǔ)（光(guāng)存(cún)儲，磁存儲以及(jí)磁光存儲(chǔ)相結合）
陽能光伏(fú)電池(chí)（透(tòu)明導電氧化物和(hé)矽沉積）
築玻(bō)璃
進產(chǎn)品應用（用於光學裝(zhuāng)置，工(gōng)具塗層(céng)，塑料等的薄膜(mó)）
Litmas® RPS 1501和3001遠程(chéng)等離(lí)子(zǐ)源(yuán)平(píng)台
Litmas® RPS 是采用(yòng)高傳導(dǎo)，低表麵麵積(jī)結構(gòu)的(dí)*整合遠程(chéng)感(gǎn)應式等(děng)離(lí)子(zǐ)源和(hé)供電係統。非常適合為晶圓預(yù)清洗，光致抗(kàng)蝕劑剝離(lí)和(hé)原(yuán)子層(céng)沉積(jī) (ALD) 等工藝(yì)提(tí)供(gōng)反應(yīng)氣體(tǐ)。此外(wài)，其大(dà)功(gōng)率(shuài)密度和高(gāo)傳導性(xìng)使其成為(wéi)後處(chǔ)理廢(fèi)氣(qì)治(zhì)理的(dí)理(lǐ)想平台。
Litmas RPS 可在不(bù)到(dào)3毫秒的(dí)時(shí)間內提供高達(dá)3 kW 的(dí)穩(wěn)定(dìng)射頻(pín)功率(shuài)，從(cóng)而能夠(gòu)實現90 nm 和300 nm製程(chéng)的(dí)快速(sù)變化(huà)。

優勢

特(tè)點(diǎn)

減(jiǎn)少(shǎo)了對易損設(shè)備(bèi)結構的電(diàn)荷(hé)損(sǔn)傷(shāng)
高反(fǎn)應(yīng)活(huó)性物焊劑生(shēng)成
廣泛的工藝(yì)化學(xué)範圍
快(kuài)速匹(pǐ)配，穩定的供(gōng)電
持(chí)有成本(běn)降低(dī)
增強終端用(yòng)戶工藝開(kāi)發和輸出(chū)量(liáng)

整合(hé)式電源(yuán)，匹配(pèi)和等離子腔(qiāng)室(shì)
獲(huò)得(dé)的 LitmasMatch™ 固(gù)態(tài)供(gōng)電拓撲結構
即插(chā)即用(yòng)的安(ān)裝(zhuāng)
廣(guǎng)泛的匹(pǐ)配範圍
耐用的 SiO2 或 Al2O3 腔(qiāng)室材料
尺寸(cùn)小
高的等(děng)離子功率密度(dù)
源(yuán)與(yǔ)源之間(jiān)的變(biàn)化(huà)極小

Litmas® RPS 前(qián)極(jí)管道 PFC 治(zhì)理(lǐ)
Litmas® RPS 係(xì)統是一(yī)種前極管(guǎn)道治理解決方(fāng)案(àn)，可減少半導體製(zhì)程(chéng)的全(quán)球(qiú)變暖(nuǎn)影(yǐng)響。這個(gè)高(gāo)性能(néng)的綫(xiàn)性感應式等離(lí)子源*整合了2 MHz 電(diàn)源和匹配(pèi)電(diàn)路。其在 CVD，蝕刻(kè)和灰化應(yīng)用(yòng)中(zhōng)的阻抗使(shǐ)用範圍(wéi)很廣。

優勢

特點(diǎn)

以很高的破壞效率，有(yǒu)效地(dì)治理(lǐ)對環境(jìng)有(yǒu)害(hài)的(dí) PFC 氣體
降低(dī)了(liǎo)總(zǒng)治(zhì)理成(chéng)本
使前(qián)極管(guǎn)道的壓力影響(xiǎng)降至低
大的(dí)功率效率(shuài)和(hé)工(gōng)藝(yì)靈(líng)活性(xìng)
在各種化學(xué)反應中(zhōng)始(shǐ)終如一(yī)的性(xìng)能(néng)和可靠(kào)性
無縫整合，無工藝影(yǐng)響(xiǎng)

Xstream® 遠程(chéng)等離子(zǐ)源
高(gāo)效(xiào) Xstream® 遠程等離子源(yuán)平(píng)台(tái)產生(shēng)來自穩定的(dí)原料氣(qì)體的中(zhōng)性活性(xìng)種，用於(yú)表麵改(gǎi)性，腔室(shì)清洗(xǐ)，薄膜蝕(shí)刻(kè)以(yǐ)及等(děng)離子輔助沉積(jī)。

安(ān)裝在工(gōng)藝(yì)腔(qiāng)室(shì)外的 Xstream 平台整合(hé)了遠程等離子(zǐ)源，6 kW 或8 kW 的(dí)高(gāo)效電(diàn)源以及(jí)獲得的固態主(zhǔ)動式(shì)匹配網絡。該網絡在一個腔(qiāng)室清洗(xǐ)源(yuán)上擁(yōng)有寬的(dí)商業化阻(zǔ)抗運行範圍。Xstream 遠程等離(lí)子源讓工(gōng)藝工程(chéng)師擁有的反應氣(qì)體(tǐ)工(gōng)藝靈(líng)活性(xìng)，從而(ér)提(tí)高(gāo)了(liǎo)係(xì)統吞吐量(liáng)，優(yōu)化了昂(áng)貴資源(yuán)的使用。

優點(diǎn)

功(gōng)能(néng)

優(yōu)化(huà)昂(áng)貴(guì)資源的(dí)使用
提(tí)供寬(kuān)的商業(yè)化阻抗(kàng)運行範圍(wéi)
可(kě)在各(gè)種化學(xué)反應下(xià)無縫(féng)運(yùn)行，包(bāo)括現有(yǒu)的 PFC/O2 就地(dì)腔(qiāng)室清洗方(fāng)法
提(tí)高(gāo)工藝性能，靈(líng)活(huó)性(xìng)和(hé)吞吐(tǔ)量(liáng)
能(néng)夠對就(jiù)地和遠(yuǎn)程(chéng) VCD 腔室(shì)清洗(xǐ)進行(háng)簡化改(gǎi)進
利(lì)用之前(qián)獲得(dé)的(dí) AE 主(zhǔ)動式匹配(pèi)網(wǎng)絡(luò)技術(shù)

固(gù)態板上主動式匹(pǐ)配網(wǎng)絡
*整合(hé)式(shì)高效(xiào)400 kHz 電(diàn)源
可選(xuǎn)的(dí)虛擬前(qián)麵板 (VFP) 直觀，即(jí)時，基(jī)於軟件的用(yòng)戶(hù)界麵(miàn)
耗(hào)水(shuǐ)量(liáng)小(xiǎo)
陽極(jí)硬(yìng)化，細(xì)微粒，防(fáng)腐金(jīn)屬(shǔ)源腔(qiāng)室
可測量(liáng)對等離子的(dí)實際(jì)供電之(zhī)監控電路(lù)
用於係統整(zhěng)合(hé)和監控(kòng)的讀回信號

AE Xstream 不允(yǔn)許(xǔ)在美國或(huò)歐洲銷(xiāo)售。

AEG	Advanced Energy Industries GmbH
AEG	AEG Power Solutions
AEG	AEG Power Solutions
AEG	rosystec GmbH（AEG Power）
AEG	AM 56Z BA 4
AEG	AM80ZBA4 NO.30126844 0020
AEG	AM71Z BA4
AEG	0.37kw 8 pole AM90SAA8 AEG/Lafert
AEG	Thyro-A 2A 400-495 HF RL1 - 2.000.002.359
AEG	Thyro-A 2A 400-280 HF 1
AEG	1S 400-170 HRL1 2000000897
AEG	THYRO P -1P 400 495HF
AEG	Thyro-A 2A 400-100 H RL1
AEG	Thyro-A 1A 400-60 H RLP1
AEG	Thyro-A 1A 400-45 H RLP1
AEG	Thyro-A 1A 400-30 H RLP1
AEG	Thyro-A 2A 400-280 HF 1
AEG	2.000.000.400
AEG	Thyro-A 2A 400-170 H RL1-2.000.001.077
AEG	Thyro-A 2A 400-495 HF RLP1-2.000.002.395
AEG	Profibus-Steckkarte Nr:2.000.000.393
AEG	Thyro-A 2A 400-170 H RLP1
AEG	2000000841 Busmodule Profibus DP
AEG	Thyro-A 2A 400-130 H 1
AEG	Thyro-S 1S 400-130 H RL1 - 2.000.000.896
AEG	Modell:AM 80Z CA 4 （B5 flange mounted ）1.1KW
AEG	Thyro-A 2A 400-60 H 1 - 2.000.001.014
AEG	Thyro-A 2A 400-170 H RL1-2.000.001.077
AEG	Thyro-A 2A 400-495 HF RL1 - 2.000.002.359
AEG	1S400-100H RL1
AEG	2.000.000.400
AEG	Profibus-Steckkarte Nr:2.000.000.393
AEG	Thyro-P 1P500-495HFASM
AEG	1 Thyro-P Steuerger?t 2000000403
AEG	Thyro-A 2A400-130H1
AEG	Thyro-S 1S 400-45 H RL1-2.000.000.893
AEG	Thyro-P 1P500-37HASM
AEG	Thyro-P 1P500-280HFASM
AEG	Thyro-P 1P500-110HASM
AEG	Thyro-P 1P400-25HASM
AEG	THYRO P -1P 400 495HF
AEG	6.000.016.474
AEG	Thyro-A 2A400-495HF RL1
AEG	1S 400-130 H RL1
AEG	1S 400-100 H RL1
AEG	AE 28 TDG 440D

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上一條(tiáo)：AEG AM71Z BA4
下(xià)一條(tiáo)：AEG Thyro-A 2A 400-495 HF RL1

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