AEG

• 作為擁有36年(nián)以上(shàng)歷史的直流(liú)電(diàn)源產(chǎn)品*企業，AE 為全(quán)球(qiú)成千(qiān)上萬的(dí)客戶提(tí)供(gōng)服(fú)務(wù)，通過下列優勢(shì)，解決客(kè)戶復雜的工藝(yì)問(wèn)題，為客戶(hù)創(chuàng)造(zào)價(jià)值：
• 高(gāo)產量
• 靶材使(shǐ)用壽命的(dí)延(yán)長(cháng)，利用(yòng)率提高
• 係(xì)統(tǒng)正(zhèng)常(cháng)運(yùn)行時間的(dí)延長(cháng)
• 應用支(zhī)持(chí)人(rén)員
• 全球支(zhī)持能力
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  AE 的直(zhí)流(liú)電源(yuán)產(chǎn)品主(zhǔ)要(yào)通過物(wù)理氣相沉積市(shì)場上(shàng)主(zhǔ)要使(shǐ)用(yòng)的物(wù)理氣象(xiàng)沉積(jī)工藝——合金濺射以(yǐ)及(jí)與(yǔ)有反應氣(qì)體(tǐ)參(cān)與(yǔ)的(dí)反應濺射，AE電(diàn)源(yuán)廣(guǎng)泛(fàn)應用於以(yǐ)下製(zhì)造市場(cháng)，包(bāo)括(kuò)：
   
• 導(dǎo)體(tǐ)（銅，鋁(lǚ)，鉭，鈦以及更(gēng)新的異(yì)類材料(liào)）
• 板顯示(shì)器（薄(báo)膜(mó)晶體管(guǎn)，彩(cǎi)色(sè)濾光片，有(yǒu)機 LED）
• 據存儲（光存(cún)儲，磁(cí)存儲以(yǐ)及磁光(guāng)存儲(chǔ)相結合(hé)）
• 陽能(néng)光(guāng)伏電池（透明(míng)導電(diàn)氧化(huà)物(wù)和(hé)矽沉積）
• 築(zhù)玻璃
• 進產品(pǐn)應用（用於(yú)光學裝置，工具塗層(céng)，塑料等(děng)的薄(báo)膜(mó)）
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• Litmas® RPS 1501和3001遠程等離(lí)子源平(píng)台
• Litmas® RPS 是采用高傳(chuán)導(dǎo)，低表麵(miàn)麵(miàn)積結構的(dí)*整(zhěng)合遠程(chéng)感應(yīng)式等(děng)離(lí)子源(yuán)和(hé)供電係統。非(fēi)常適(shì)合為晶(jīng)圓(yuán)預清(qīng)洗(xǐ)，光致(zhì)抗(kàng)蝕劑剝(bāo)離(lí)和(hé)原子層沉(chén)積(jī) (ALD) 等工藝(yì)提(tí)供反(fǎn)應(yīng)氣體。此外，其(qí)大(dà)功(gōng)率(shuài)密度和(hé)高(gāo)傳導(dǎo)性使其成為(wéi)後處(chǔ)理廢氣治(zhì)理(lǐ)的理(lǐ)想平台(tái)。
• Litmas RPS 可在不到(dào)3毫(háo)秒的時(shí)間內(nèi)提供(gōng)高達(dá)3 kW 的(dí)穩定(dìng)射(shè)頻功率，從(cóng)而(ér)能(néng)夠(gòu)實現90 nm 和300 nm製程(chéng)的(dí)快(kuài)速(sù)變(biàn)化(huà)。
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• Litmas® RPS 前極管道 PFC 治(zhì)理(lǐ)
• Litmas® RPS 係(xì)統(tǒng)是(shì)一種前(qián)極管(guǎn)道(dào)治理(lǐ)解決(jué)方案(àn)，可(kě)減少半導(dǎo)體(tǐ)製程的(dí)全球變暖影響。這個高性能的綫性(xìng)感(gǎn)應(yīng)式等離(lí)子(zǐ)源(yuán)*整(zhěng)合了2 MHz 電源和匹(pǐ)配電路。其(qí)在(zài) CVD，蝕刻(kè)和灰(huī)化(huà)應用中(zhōng)的(dí)阻抗使(shǐ)用範圍很(hěn)廣。
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• Xstream® 遠(yuǎn)程(chéng)等(děng)離子源(yuán)
• 高(gāo)效 Xstream® 遠程等離子源(yuán)平台(tái)產生來自(zì)穩(wěn)定的原料氣(qì)體的中性(xìng)活性種，用於表麵改(gǎi)性，腔(qiāng)室(shì)清(qīng)洗，薄膜(mó)蝕刻以及(jí)等離子輔助沉積。
  
  安裝在工(gōng)藝(yì)腔室外(wài)的 Xstream 平(píng)台(tái)整(zhěng)合了(liǎo)遠(yuǎn)程(chéng)等離(lí)子(zǐ)源(yuán)，6 kW 或(huò)8 kW 的高(gāo)效電源以及獲得(dé)的(dí)固態主(zhǔ)動(dòng)式匹配(pèi)網絡。該網絡在(zài)一個腔(qiāng)室清洗(xǐ)源上擁有寬的商業(yè)化阻(zǔ)抗運行(háng)範圍。Xstream 遠程等(děng)離子源讓工藝工程師(shī)擁(yōng)有(yǒu)的反應(yīng)氣(qì)體(tǐ)工(gōng)藝(yì)靈活性(xìng)，從而提(tí)高了係統吞吐量，優(yōu)化了(liǎo)昂(áng)貴資(zī)源的(dí)使用。
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• AE Xstream 不允許(xǔ)在美(měi)國(guó)或(huò)歐(ōu)洲銷(xiāo)售(shòu)。 

AEG AM71Z BA4

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