AEG AM80ZBA4 NO.30126844 0020

描述：AEG

作(zuò)為擁有36年(nián)以上歷史的直流(liú)電源(yuán)產品*企(qǐ)業，AE 為(wéi)成千上(shàng)萬(wàn)的客戶(hù)提(tí)供(gōng)服務(wù)，通過(guò)下列優勢(shì)，解決客(kè)戶(hù)復雜的(dí)工(gōng)藝問題(tí)，為客戶創(chuàng)造價(jià)值：

更(gēng)新時(shí)間：2026-05-07

產(chǎn)品(pǐn)型號：

廠商(shāng)性(xìng)質(zhì)：經銷商(shāng)

訪問(wèn)次(cì)數：1027

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詳(xiáng)情介紹

AEG

作為擁有(yǒu)36年以上歷史(shǐ)的(dí)直流電(diàn)源產(chǎn)品*企(qǐ)業，AE 為(wéi)全球(qiú)成千上(shàng)萬(wàn)的(dí)客(kè)戶提(tí)供服務(wù)，通(tōng)過下(xià)列(liè)優勢(shì)，解決客戶(hù)復雜的工(gōng)藝(yì)問題(tí)，為客戶創造(zào)價(jià)值：
高(gāo)產(chǎn)量
靶材使用(yòng)壽(shòu)命的延長(cháng)，利用(yòng)率提高
係統(tǒng)正常運行時(shí)間的延長(cháng)
應用支(zhī)持(chí)人員
全球支(zhī)持能力(lì)
AE 的直(zhí)流電(diàn)源產品(pǐn)主要通(tōng)過(guò)物(wù)理氣(qì)相(xiāng)沉積市場上主要使(shǐ)用的物理氣象沉積工藝(yì)——合金濺射(shè)以及(jí)與有(yǒu)反(fǎn)應氣體參與的反應(yīng)濺(jiàn)射(shè)，AE電源廣泛應用於以下製造(zào)市場，包括：
導(dǎo)體(tǐ)（銅(tóng)，鋁(lǚ)，鉭(tǎn)，鈦(tài)以及更(gēng)新的異(yì)類材(cái)料(liào)）
板(bǎn)顯示(shì)器(qì)（薄(báo)膜(mó)晶體管(guǎn)，彩(cǎi)色(sè)濾(lǜ)光片，有機 LED）
據存儲（光存儲，磁存(cún)儲以及磁光(guāng)存儲相結(jié)合(hé)）
陽(yáng)能光(guāng)伏電(diàn)池（透明(míng)導(dǎo)電氧化物和矽(guī)沉積）
築玻(bō)璃(lí)
進產品應用(yòng)（用於光學裝置(zhì)，工具(jù)塗層，塑料(liào)等的(dí)薄膜(mó)）
Litmas® RPS 1501和3001遠(yuǎn)程等離子源平(píng)台(tái)
Litmas® RPS 是(shì)采(cǎi)用高傳導，低表(biǎo)麵(miàn)麵積結(jié)構的*整合遠(yuǎn)程(chéng)感應式等(děng)離(lí)子源和(hé)供(gōng)電係(xì)統。非常(cháng)適(shì)合為(wéi)晶圓預清洗(xǐ)，光(guāng)致(zhì)抗蝕劑(jì)剝離(lí)和(hé)原子層(céng)沉積(jī) (ALD) 等工藝(yì)提供反應氣體(tǐ)。此外(wài)，其大功(gōng)率(shuài)密度和高(gāo)傳(chuán)導性使其成(chéng)為(wéi)後處(chǔ)理廢氣(qì)治(zhì)理(lǐ)的理想平(píng)台。
Litmas RPS 可在不到3毫秒(miǎo)的時(shí)間(jiān)內提供(gōng)高達3 kW 的(dí)穩定(dìng)射頻(pín)功(gōng)率，從(cóng)而能夠(gòu)實(shí)現(xiàn)90 nm 和(hé)300 nm製(zhì)程的快速(sù)變化。

優勢

特點

減少了(liǎo)對易(yì)損設(shè)備結(jié)構的電荷(hé)損(sǔn)傷
高(gāo)反應活(huó)性物焊劑(jì)生成
廣泛的工藝化(huà)學範圍
快速(sù)匹配，穩(wěn)定(dìng)的供電
持(chí)有成本(běn)降低(dī)
增強(qiáng)終端用戶(hù)工藝開發(fā)和(hé)輸出量(liáng)

整合(hé)式(shì)電(diàn)源，匹(pǐ)配(pèi)和等離(lí)子腔(qiāng)室(shì)
獲得的(dí) LitmasMatch™ 固(gù)態供(gōng)電(diàn)拓撲結(jié)構(gòu)
即(jí)插(chā)即(jí)用的安裝
廣泛的匹(pǐ)配範(fàn)圍
耐(nài)用的 SiO2 或 Al2O3 腔(qiāng)室材料(liào)
尺寸(cùn)小(xiǎo)
高的等(děng)離子(zǐ)功率(shuài)密度
源與源(yuán)之(zhī)間的變(biàn)化(huà)極小

Litmas® RPS 前(qián)極(jí)管(guǎn)道(dào) PFC 治理
Litmas® RPS 係(xì)統(tǒng)是(shì)一(yī)種前極(jí)管道治理解決方(fāng)案，可減少半(bàn)導(dǎo)體製(zhì)程的全(quán)球變(biàn)暖影響(xiǎng)。這(zhè)個(gè)高(gāo)性能的綫性感應(yīng)式等離(lí)子源(yuán)*整合了(liǎo)2 MHz 電源(yuán)和匹(pǐ)配電路。其(qí)在 CVD，蝕刻(kè)和灰(huī)化應用(yòng)中(zhōng)的(dí)阻抗(kàng)使(shǐ)用(yòng)範(fàn)圍(wéi)很(hěn)廣(guǎng)。

優勢

特(tè)點

以(yǐ)很高(gāo)的破(pò)壞效率，有效地治理(lǐ)對環境(jìng)有(yǒu)害的 PFC 氣體(tǐ)
降(jiàng)低了總治理(lǐ)成(chéng)本(běn)
使(shǐ)前(qián)極(jí)管(guǎn)道(dào)的壓(yā)力(lì)影(yǐng)響降(jiàng)至(zhì)低(dī)
大(dà)的(dí)功率效率和(hé)工藝(yì)靈活性(xìng)
在(zài)各種化學反應(yīng)中始終(zhōng)如(rú)一的性能和可(kě)靠性
無縫整合，無工藝影(yǐng)響(xiǎng)

Xstream® 遠程(chéng)等離(lí)子源(yuán)
高(gāo)效 Xstream® 遠(yuǎn)程等離子(zǐ)源平(píng)台(tái)產生來自(zì)穩定(dìng)的原料(liào)氣體(tǐ)的中性(xìng)活(huó)性種，用於表(biǎo)麵改性(xìng)，腔室(shì)清(qīng)洗(xǐ)，薄膜蝕刻(kè)以及等(děng)離(lí)子輔助(zhù)沉積(jī)。

安裝(zhuāng)在工藝腔室外的 Xstream 平台整合(hé)了(liǎo)遠程等離子源(yuán)，6 kW 或8 kW 的高(gāo)效電源以及(jí)獲得的固態主(zhǔ)動式匹配(pèi)網絡。該網絡在一個(gè)腔室清(qīng)洗源(yuán)上(shàng)擁有寬的(dí)商業(yè)化阻(zǔ)抗運行範(fàn)圍(wéi)。Xstream 遠程(chéng)等離子源(yuán)讓工(gōng)藝工(gōng)程(chéng)師擁(yōng)有(yǒu)的(dí)反應(yīng)氣體工(gōng)藝(yì)靈(líng)活性，從而提(tí)高了(liǎo)係統吞(tūn)吐量(liáng)，優化(huà)了(liǎo)昂(áng)貴資源的(dí)使(shǐ)用(yòng)。

優(yōu)點

功能(néng)

優化昂(áng)貴資(zī)源的使(shǐ)用(yòng)
提供寬的商(shāng)業化阻抗(kàng)運(yùn)行(háng)範圍(wéi)
可(kě)在各種化學反(fǎn)應下無(wú)縫運行，包括現(xiàn)有(yǒu)的 PFC/O2 就(jiù)地(dì)腔室清洗方法
提(tí)高(gāo)工(gōng)藝(yì)性能(néng)，靈活(huó)性和吞吐量
能(néng)夠對就地和遠程 VCD 腔(qiāng)室清(qīng)洗(xǐ)進行簡(jiǎn)化改進(jìn)
利用之前(qián)獲得的 AE 主動(dòng)式(shì)匹配網絡技術

固態板(bǎn)上主(zhǔ)動式匹配網(wǎng)絡
*整合式高(gāo)效400 kHz 電源
可選的(dí)虛擬前(qián)麵(miàn)板 (VFP) 直觀(guān)，即時，基於軟件的用戶界麵
耗水量(liáng)小(xiǎo)
陽極(jí)硬化(huà)，細(xì)微粒(lì)，防(fáng)腐(fǔ)金屬源(yuán)腔(qiāng)室
可測(cè)量對等離子的實(shí)際(jì)供(gōng)電(diàn)之監(jiān)控(kòng)電路(lù)
用於(yú)係(xì)統整(zhěng)合(hé)和(hé)監(jiān)控的讀回信號(hào)

AE Xstream 不允許(xǔ)在(zài)美(měi)國(guó)或(huò)歐(ōu)洲(zhōu)銷售。

AEG	Advanced Energy Industries GmbH
AEG	AEG Power Solutions
AEG	AEG Power Solutions
AEG	rosystec GmbH（AEG Power）
AEG	AM 56Z BA 4
AEG	AM80ZBA4 NO.30126844 0020
AEG	AM71Z BA4
AEG	0.37kw 8 pole AM90SAA8 AEG/Lafert
AEG	Thyro-A 2A 400-495 HF RL1 - 2.000.002.359
AEG	Thyro-A 2A 400-280 HF 1
AEG	1S 400-170 HRL1 2000000897
AEG	THYRO P -1P 400 495HF
AEG	Thyro-A 2A 400-100 H RL1
AEG	Thyro-A 1A 400-60 H RLP1
AEG	Thyro-A 1A 400-45 H RLP1
AEG	Thyro-A 1A 400-30 H RLP1
AEG	Thyro-A 2A 400-280 HF 1
AEG	2.000.000.400
AEG	Thyro-A 2A 400-170 H RL1-2.000.001.077
AEG	Thyro-A 2A 400-495 HF RLP1-2.000.002.395
AEG	Profibus-Steckkarte Nr:2.000.000.393
AEG	Thyro-A 2A 400-170 H RLP1
AEG	2000000841 Busmodule Profibus DP
AEG	Thyro-A 2A 400-130 H 1
AEG	Thyro-S 1S 400-130 H RL1 - 2.000.000.896
AEG	Modell:AM 80Z CA 4 （B5 flange mounted ）1.1KW
AEG	Thyro-A 2A 400-60 H 1 - 2.000.001.014
AEG	Thyro-A 2A 400-170 H RL1-2.000.001.077
AEG	Thyro-A 2A 400-495 HF RL1 - 2.000.002.359
AEG	1S400-100H RL1
AEG	2.000.000.400
AEG	Profibus-Steckkarte Nr:2.000.000.393
AEG	Thyro-P 1P500-495HFASM
AEG	1 Thyro-P Steuerger?t 2000000403
AEG	Thyro-A 2A400-130H1
AEG	Thyro-S 1S 400-45 H RL1-2.000.000.893
AEG	Thyro-P 1P500-37HASM
AEG	Thyro-P 1P500-280HFASM
AEG	Thyro-P 1P500-110HASM
AEG	Thyro-P 1P400-25HASM
AEG	THYRO P -1P 400 495HF
AEG	6.000.016.474
AEG	Thyro-A 2A400-495HF RL1
AEG	1S 400-130 H RL1
AEG	1S 400-100 H RL1
AEG	AE 28 TDG 440D

AEG AM80ZBA4 NO.30126844 0020

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請輸(shū)入(rù)計(jì)算(suàn)結果（填寫阿拉伯數(shù)字(zì)），如：三加四(sì)=7

上一條(tiáo)：AEG AM 56Z BA 4
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