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AEG AM 56Z BA 4

描述：AEG

作為擁有(yǒu)36年以上歷(lì)史(shǐ)的(dí)直(zhí)流(liú)電源(yuán)產品*企(qǐ)業(yè)，AE 為成千(qiān)上萬的客戶提供服(fú)務，通過(guò)下列優(yōu)勢，解決客戶復雜(zá)的(dí)工(gōng)藝(yì)問題(tí)，為客戶創造價(jià)值(zhí)：

更新時間：2026-05-07
產品(pǐn)型號(hào)：
廠商性質：經(jīng)銷商
訪(fǎng)問次數：985
詳情介紹

AEG

 

  • 作為擁有36年以上歷史(shǐ)的直流電源(yuán)產品(pǐn)*企業，AE 為全球成千上萬(wàn)的客戶提(tí)供服(fú)務，通過(guò)下(xià)列優勢(shì)，解(jiě)決(jué)客戶復(fù)雜(zá)的工(gōng)藝問題，為客戶(hù)創造(zào)價(jià)值：
  • 高(gāo)產量(liáng)
  • 靶材使用(yòng)壽命的延(yán)長，利(lì)用(yòng)率提(tí)高(gāo)
  • 係統正常運(yùn)行(háng)時(shí)間(jiān)的(dí)延長
  • 應用支(zhī)持人員(yuán)
  • 全球支持能力(lì)

  • AE 的直(zhí)流(liú)電源產品主(zhǔ)要(yào)通(tōng)過物(wù)理(lǐ)氣相(xiāng)沉(chén)積(jī)市場上(shàng)主要(yào)使(shǐ)用(yòng)的物(wù)理氣(qì)象(xiàng)沉積(jī)工藝——合(hé)金濺射以及與有反(fǎn)應(yīng)氣體(tǐ)參(cān)與(yǔ)的反應濺(jiàn)射，AE電源廣(guǎng)泛(fàn)應(yīng)用(yòng)於以下(xià)製造市場，包括：
     
  • 導體(tǐ)（銅，鋁，鉭(tǎn)，鈦(tài)以(yǐ)及(jí)更(gēng)新的異(yì)類(lèi)材料）
  • 板顯示器（薄(báo)膜晶體管，彩色(sè)濾光片(piàn)，有(yǒu)機 LED）
  • 據存儲（光(guāng)存儲(chǔ)，磁存(cún)儲以及(jí)磁(cí)光存(cún)儲相(xiāng)結合(hé)）
  • 陽能(néng)光伏電池(chí)（透明導電(diàn)氧化(huà)物和(hé)矽(guī)沉積(jī)）
  • 築(zhù)玻璃
  • 進(jìn)產品應用（用(yòng)於光學裝置，工具(jù)塗(tú)層(céng)，塑料等的(dí)薄膜）
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  • Litmas® RPS 1501和3001遠程(chéng)等(děng)離子(zǐ)源平(píng)台
  • Litmas® RPS 是采用高(gāo)傳(chuán)導(dǎo)，低表麵(miàn)麵(miàn)積結構的*整合遠程感應(yīng)式(shì)等離子(zǐ)源(yuán)和供電(diàn)係(xì)統。非常(cháng)適合(hé)為(wéi)晶圓預清洗，光致抗蝕劑剝離(lí)和原子層沉積 (ALD) 等工(gōng)藝提供反(fǎn)應(yīng)氣體。此(cǐ)外，其(qí)大功率(shuài)密(mì)度(dù)和高傳導性使其成為後處理廢氣(qì)治(zhì)理(lǐ)的(dí)理想平台(tái)。
  • Litmas RPS 可(kě)在不到3毫(háo)秒(miǎo)的時(shí)間內提供高(gāo)達(dá)3 kW 的穩定射頻(pín)功率，從而能夠實現(xiàn)90 nm 和(hé)300 nm製程的快速變化(huà)。
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  • 優勢
  • 特點
  • 減(jiǎn)少了對(duì)易損設備結(jié)構(gòu)的(dí)電(diàn)荷損傷
  • 高反應(yīng)活性物焊劑生成
  • 廣(guǎng)泛(fàn)的工藝化(huà)學(xué)範(fàn)圍(wéi)
  • 快(kuài)速匹配，穩(wěn)定(dìng)的供電
  • 持有(yǒu)成本(běn)降低(dī)
  • 增強終端(duān)用(yòng)戶工藝(yì)開發(fā)和(hé)輸(shū)出量
  • 整合式(shì)電(diàn)源，匹配(pèi)和等離子(zǐ)腔室(shì)
  • 獲得(dé)的 LitmasMatch™ 固態供電拓撲結(jié)構(gòu)
  • 即插(chā)即(jí)用(yòng)的安裝
  • 廣(guǎng)泛的(dí)匹(pǐ)配範(fàn)圍
  • 耐(nài)用的 SiO2 或 Al2O3 腔(qiāng)室(shì)材料
  • 尺寸小(xiǎo)
  • 高的等離子功率(shuài)密度
  • 源與源(yuán)之間的變化極小(xiǎo)
  • Litmas® RPS 前極(jí)管道 PFC 治理(lǐ)
  • Litmas® RPS 係統是一(yī)種前極管(guǎn)道(dào)治理解(jiě)決(jué)方(fāng)案，可(kě)減(jiǎn)少半導體(tǐ)製程的全球(qiú)變暖影響。這個高性能的綫(xiàn)性感應式(shì)等(děng)離(lí)子(zǐ)源(yuán)*整(zhěng)合(hé)了(liǎo)2 MHz 電源(yuán)和匹配(pèi)電路。其在 CVD，蝕(shí)刻(kè)和灰(huī)化應(yīng)用中的阻抗(kàng)使用範圍很(hěn)廣(guǎng)。
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  • 優勢
  • 特點
  • 以(yǐ)很高(gāo)的(dí)破壞效(xiào)率，有(yǒu)效地(dì)治理(lǐ)對(duì)環境有(yǒu)害(hài)的(dí) PFC 氣(qì)體
  • 降(jiàng)低了總治(zhì)理成本
  • 使前(qián)極(jí)管道的(dí)壓(yā)力影(yǐng)響降至低
  • 大的功率效(xiào)率和工藝(yì)靈活(huó)性(xìng)
  • 在(zài)各種化(huà)學(xué)反(fǎn)應(yīng)中始終(zhōng)如(rú)一(yī)的性能(néng)和可靠(kào)性
  • 無(wú)縫整(zhěng)合，無工藝影響
  •  
  •  
  • Xstream® 遠(yuǎn)程(chéng)等(děng)離(lí)子(zǐ)源(yuán)
  • 高效(xiào) Xstream® 遠(yuǎn)程等(děng)離子源(yuán)平台產生來自穩定的原料(liào)氣(qì)體(tǐ)的中(zhōng)性活(huó)性種，用(yòng)於表麵(miàn)改性(xìng)，腔室(shì)清洗(xǐ)，薄膜(mó)蝕刻以及等離子(zǐ)輔助(zhù)沉(chén)積(jī)。

    安裝(zhuāng)在工(gōng)藝腔(qiāng)室外(wài)的(dí) Xstream 平台整合(hé)了(liǎo)遠程(chéng)等離子源，6 kW 或(huò)8 kW 的高效電(diàn)源(yuán)以及(jí)獲(huò)得的固態(tài)主動式匹(pǐ)配網(wǎng)絡。該網(wǎng)絡(luò)在一個(gè)腔(qiāng)室清洗(xǐ)源(yuán)上(shàng)擁有寬的(dí)商(shāng)業(yè)化阻抗(kàng)運(yùn)行(háng)範圍(wéi)。Xstream 遠(yuǎn)程等(děng)離子源讓工(gōng)藝(yì)工程(chéng)師擁有的反應氣體工(gōng)藝靈活性，從(cóng)而提(tí)高了(liǎo)係統吞吐量，優化了昂貴(guì)資源的使用。
  •  
  •  
  • 優(yōu)點
  • 功(gōng)能(néng)
  • 優化昂貴資源(yuán)的使用
  • 提(tí)供寬的商業化(huà)阻抗運(yùn)行(háng)範圍
  • 可在(zài)各(gè)種化學(xué)反(fǎn)應下無縫運行(háng)，包(bāo)括(kuò)現有(yǒu)的(dí) PFC/O2 就(jiù)地腔(qiāng)室清洗(xǐ)方法
  • 提(tí)高(gāo)工(gōng)藝(yì)性能，靈活性和(hé)吞吐(tǔ)量(liáng)
  • 能夠(gòu)對(duì)就地(dì)和遠(yuǎn)程 VCD 腔室(shì)清洗進(jìn)行簡化(huà)改進
  • 利(lì)用之(zhī)前(qián)獲得(dé)的(dí) AE 主動(dòng)式(shì)匹配(pèi)網絡技術(shù)
  • 固(gù)態板上(shàng)主(zhǔ)動(dòng)式匹(pǐ)配(pèi)網絡
  • *整合式高(gāo)效400 kHz 電(diàn)源(yuán)
  • 可選的(dí)虛擬(nǐ)前麵板 (VFP) 直觀，即時，基於軟(ruǎn)件的(dí)用(yòng)戶界(jiè)麵(miàn)
  • 耗(hào)水(shuǐ)量小
  • 陽極硬(yìng)化，細(xì)微粒(lì)，防腐(fǔ)金(jīn)屬源(yuán)腔(qiāng)室
  • 可測(cè)量(liáng)對(duì)等(děng)離子的(dí)實際供電之(zhī)監控電路
  • 用(yòng)於係統(tǒng)整合和(hé)監(jiān)控的讀(dú)回(huí)信(xìn)號
  •  
  • AE Xstream 不允(yǔn)許在美(měi)國(guó)或(huò)歐洲銷(xiāo)售(shòu)。 
  • AEG
  • Advanced Energy Industries GmbH
  • AEG
  • AEG Power Solutions
  • AEG
  • AEG Power Solutions
  • AEG
  • rosystec GmbH（AEG Power）
  • AEG
  • AM 56Z BA 4
  • AEG
  • AM80ZBA4 NO.30126844 0020
  • AEG
  • AM71Z BA4
  • AEG
  • 0.37kw 8 pole AM90SAA8 AEG/Lafert
  • AEG
  • Thyro-A 2A 400-495 HF RL1 - 2.000.002.359
  • AEG
  • Thyro-A 2A 400-280 HF 1
  • AEG
  • 1S 400-170 HRL1 2000000897
  • AEG
  • THYRO P -1P 400 495HF
  • AEG
  • Thyro-A 2A 400-100 H RL1
  • AEG
  • Thyro-A 1A 400-60 H RLP1
  • AEG
  • Thyro-A 1A 400-45 H RLP1
  • AEG
  • Thyro-A 1A 400-30 H RLP1
  • AEG
  • Thyro-A 2A 400-280 HF 1
  • AEG
  • 2.000.000.400
  • AEG
  • Thyro-A 2A 400-170 H RL1-2.000.001.077
  • AEG
  • Thyro-A 2A 400-495 HF RLP1-2.000.002.395
  • AEG
  • Profibus-Steckkarte Nr:2.000.000.393
  • AEG
  • Thyro-A 2A 400-170 H RLP1
  • AEG
  • 2000000841 Busmodule Profibus DP
  • AEG
  • Thyro-A 2A 400-130 H 1
  • AEG
  • Thyro-S 1S 400-130 H RL1 - 2.000.000.896
  • AEG
  • Modell:AM 80Z CA 4 （B5 flange mounted ）1.1KW
  • AEG
  • Thyro-A 2A 400-60 H 1 - 2.000.001.014
  • AEG
  • Thyro-A 2A 400-170 H RL1-2.000.001.077
  • AEG
  • Thyro-A 2A 400-495 HF RL1 - 2.000.002.359
  • AEG
  • 1S400-100H RL1
  • AEG
  • 2.000.000.400
  • AEG
  • Profibus-Steckkarte Nr:2.000.000.393
  • AEG
  • Thyro-P 1P500-495HFASM
  • AEG
  • 1 Thyro-P Steuerger?t 2000000403
  • AEG
  • Thyro-A 2A400-130H1
  • AEG
  • Thyro-S 1S 400-45 H RL1-2.000.000.893
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  • Thyro-P 1P500-37HASM
  • AEG
  • Thyro-P 1P500-280HFASM
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  • Thyro-P 1P500-110HASM
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  • Thyro-P 1P400-25HASM
  • AEG
  • THYRO P -1P 400 495HF
  • AEG
  • 6.000.016.474
  • AEG
  • Thyro-A 2A400-495HF RL1
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  • 1S 400-130 H RL1
  • AEG
  • 1S 400-100 H RL1
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  • AE 28 TDG 440D

AEG AM 56Z BA 4

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上一(yī)條(tiáo)：Schmalz 10.01.06.03421
下(xià)一(yī)條(tiáo)：AEG AM80ZBA4 NO.30126844 0020