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產(chǎn)品展(zhǎn)示
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AEG THYRO P -1P 400 495HF

描述(shù)：AEG

作為(wéi)擁有(yǒu)36年(nián)以(yǐ)上歷史的(dí)直流(liú)電源(yuán)產(chǎn)品(pǐn)*企(qǐ)業(yè)，AE 為(wéi)成(chéng)千(qiān)上萬的客戶提供服(fú)務，通(tōng)過下列(liè)優(yōu)勢(shì)，解(jiě)決(jué)客戶(hù)復雜(zá)的工藝問(wèn)題，為客戶(hù)創造(zào)價值：

更新(xīn)時(shí)間：2026-05-07
產品型(xíng)號：
廠商(shāng)性(xìng)質：經(jīng)銷(xiāo)商
訪(fǎng)問次(cì)數：1064
詳情(qíng)介紹

AEG

 

  • 作為(wéi)擁(yōng)有36年以上歷(lì)史的直流電源(yuán)產品(pǐn)*企(qǐ)業，AE 為全球(qiú)成千(qiān)上萬的(dí)客(kè)戶提(tí)供服務，通(tōng)過下列優勢(shì)，解決(jué)客(kè)戶復雜(zá)的工藝問(wèn)題，為客戶創造價(jià)值：
  • 高(gāo)產量(liáng)
  • 靶材(cái)使用壽命的延(yán)長(cháng)，利(lì)用(yòng)率(shuài)提(tí)高(gāo)
  • 係統正常(cháng)運(yùn)行時(shí)間的(dí)延(yán)長(cháng)
  • 應用支(zhī)持人員(yuán)
  • 全(quán)球支持(chí)能力(lì)

  • AE 的直(zhí)流(liú)電(diàn)源產品(pǐn)主要(yào)通(tōng)過物理氣相沉積(jī)市(shì)場(cháng)上主(zhǔ)要使(shǐ)用(yòng)的物(wù)理氣(qì)象(xiàng)沉(chén)積(jī)工(gōng)藝——合金(jīn)濺(jiàn)射(shè)以及與有(yǒu)反應(yīng)氣(qì)體參(cān)與的(dí)反應濺(jiàn)射(shè)，AE電源(yuán)廣泛應用於以下製(zhì)造市(shì)場(cháng)，包括(kuò)：
     
  • 導(dǎo)體（銅(tóng)，鋁，鉭(tǎn)，鈦(tài)以(yǐ)及更新(xīn)的異(yì)類材料）
  • 板(bǎn)顯(xiǎn)示器（薄(báo)膜晶(jīng)體管(guǎn)，彩(cǎi)色濾(lǜ)光片(piàn)，有機(jī) LED）
  • 據存儲（光(guāng)存(cún)儲(chǔ)，磁(cí)存儲以(yǐ)及磁(cí)光存儲(chǔ)相(xiāng)結(jié)合）
  • 陽(yáng)能(néng)光伏電(diàn)池（透明(míng)導電氧(yǎng)化物(wù)和矽沉(chén)積）
  • 築玻璃
  • 進產品(pǐn)應(yīng)用（用(yòng)於光學(xué)裝置，工具(jù)塗層(céng)，塑(sù)料等(děng)的(dí)薄膜）
  •  
  • Litmas® RPS 1501和3001遠程等離子源(yuán)平(píng)台
  • Litmas® RPS 是(shì)采(cǎi)用(yòng)高(gāo)傳(chuán)導(dǎo)，低(dī)表麵麵積結構的*整合遠程(chéng)感(gǎn)應(yīng)式等離(lí)子(zǐ)源和供電係統。非常(cháng)適合(hé)為(wéi)晶圓預(yù)清洗，光(guāng)致(zhì)抗蝕劑剝(bāo)離和(hé)原子(zǐ)層沉(chén)積(jī) (ALD) 等工藝提(tí)供反(fǎn)應氣(qì)體(tǐ)。此外，其大功(gōng)率(shuài)密(mì)度和高傳導性(xìng)使其成(chéng)為(wéi)後(hòu)處理廢(fèi)氣治(zhì)理的(dí)理想平台(tái)。
  • Litmas RPS 可(kě)在(zài)不到(dào)3毫秒的時(shí)間內提供(gōng)高達3 kW 的穩(wěn)定射頻功(gōng)率，從而(ér)能夠實現(xiàn)90 nm 和300 nm製程(chéng)的(dí)快速(sù)變(biàn)化。
  •  
  • 優勢(shì)
  • 特點
  • 減少了對易(yì)損設(shè)備結構的電(diàn)荷損傷
  • 高反(fǎn)應活性物(wù)焊劑(jì)生成
  • 廣泛的(dí)工(gōng)藝化(huà)學(xué)範(fàn)圍(wéi)
  • 快速(sù)匹(pǐ)配(pèi)，穩(wěn)定(dìng)的(dí)供(gōng)電(diàn)
  • 持(chí)有成本降低
  • 增強終(zhōng)端用(yòng)戶(hù)工(gōng)藝開發和輸出量
  • 整(zhěng)合式(shì)電源(yuán)，匹配和(hé)等離子腔室(shì)
  • 獲(huò)得(dé)的(dí) LitmasMatch™ 固態(tài)供電(diàn)拓撲結構(gòu)
  • 即(jí)插(chā)即用的安(ān)裝(zhuāng)
  • 廣泛的(dí)匹配(pèi)範圍(wéi)
  • 耐用(yòng)的 SiO2 或 Al2O3 腔室材料
  • 尺(chǐ)寸小
  • 高的等(děng)離子功(gōng)率密度
  • 源(yuán)與源之間的(dí)變化極小
  • Litmas® RPS 前極管(guǎn)道(dào) PFC 治(zhì)理
  • Litmas® RPS 係統是(shì)一(yī)種前極管(guǎn)道(dào)治理(lǐ)解決方案，可(kě)減少(shǎo)半導體製程的(dí)全(quán)球(qiú)變暖影響。這個(gè)高(gāo)性能的綫性(xìng)感應(yīng)式等離子(zǐ)源(yuán)*整(zhěng)合(hé)了(liǎo)2 MHz 電源和(hé)匹(pǐ)配(pèi)電路(lù)。其在(zài) CVD，蝕刻和(hé)灰化應用中的(dí)阻抗使用(yòng)範圍很廣。
  •  
  • 優勢
  • 特點(diǎn)
  • 以很高(gāo)的破壞效率(shuài)，有效(xiào)地(dì)治(zhì)理(lǐ)對(duì)環(huán)境有害的 PFC 氣體
  • 降(jiàng)低了(liǎo)總治理成本
  • 使前極(jí)管道(dào)的(dí)壓(yā)力影(yǐng)響降(jiàng)至低(dī)
  • 大的(dí)功率效率和工藝靈活(huó)性(xìng)
  • 在(zài)各(gè)種化學(xué)反應中始終(zhōng)如(rú)一的性能(néng)和可(kě)靠性
  • 無(wú)縫(féng)整合(hé)，無工藝影響
  •  
  •  
  • Xstream® 遠(yuǎn)程(chéng)等離(lí)子(zǐ)源(yuán)
  • 高(gāo)效 Xstream® 遠程等離子源(yuán)平台產(chǎn)生(shēng)來自(zì)穩定(dìng)的(dí)原(yuán)料氣(qì)體的中性活(huó)性(xìng)種，用(yòng)於(yú)表麵(miàn)改(gǎi)性，腔(qiāng)室(shì)清洗(xǐ)，薄膜蝕刻(kè)以及等(děng)離(lí)子(zǐ)輔(fǔ)助沉積。

    安裝在工(gōng)藝(yì)腔(qiāng)室外的(dí) Xstream 平台(tái)整合(hé)了(liǎo)遠程等離(lí)子(zǐ)源(yuán)，6 kW 或8 kW 的(dí)高效電(diàn)源以及獲(huò)得的固(gù)態(tài)主動(dòng)式匹配網(wǎng)絡(luò)。該網絡在(zài)一個腔室清(qīng)洗源(yuán)上(shàng)擁有寬的商業化(huà)阻抗(kàng)運行(háng)範圍。Xstream 遠(yuǎn)程等(děng)離(lí)子源(yuán)讓(ràng)工(gōng)藝工(gōng)程(chéng)師擁有的反應氣(qì)體工藝靈活性，從(cóng)而(ér)提高了係統(tǒng)吞(tūn)吐(tǔ)量，優化了昂(áng)貴資源的使(shǐ)用。
  •  
  •  
  • 優點(diǎn)
  • 功能
  • 優(yōu)化(huà)昂貴(guì)資(zī)源(yuán)的使用
  • 提供寬(kuān)的商(shāng)業化阻(zǔ)抗運行範圍
  • 可在(zài)各(gè)種化學反(fǎn)應下(xià)無(wú)縫運(yùn)行(háng)，包(bāo)括現有(yǒu)的(dí) PFC/O2 就(jiù)地腔室(shì)清洗方(fāng)法
  • 提高工藝性(xìng)能，靈(líng)活性和(hé)吞(tūn)吐(tǔ)量
  • 能夠對就地和(hé)遠(yuǎn)程 VCD 腔室清洗進行簡(jiǎn)化改(gǎi)進(jìn)
  • 利(lì)用之前(qián)獲(huò)得(dé)的 AE 主動式(shì)匹配網(wǎng)絡(luò)技術
  • 固態板上主(zhǔ)動(dòng)式匹配(pèi)網絡
  • *整合式高(gāo)效(xiào)400 kHz 電源
  • 可選的(dí)虛(xū)擬前麵板(bǎn) (VFP) 直(zhí)觀(guān)，即時(shí)，基於軟件(jiàn)的用戶界(jiè)麵
  • 耗水(shuǐ)量小
  • 陽極硬(yìng)化，細(xì)微粒，防(fáng)腐(fǔ)金屬(shǔ)源腔室
  • 可(kě)測(cè)量(liáng)對等(děng)離子的實際(jì)供(gōng)電之(zhī)監(jiān)控電路
  • 用(yòng)於係(xì)統整合和(hé)監(jiān)控的讀回(huí)信(xìn)號
  •  
  • AE Xstream 不允(yǔn)許在美(měi)國(guó)或歐洲銷售。 
  • AEG
  • Advanced Energy Industries GmbH
  • AEG
  • AEG Power Solutions
  • AEG
  • AEG Power Solutions
  • AEG
  • rosystec GmbH（AEG Power）
  • AEG
  • AM 56Z BA 4
  • AEG
  • AM80ZBA4 NO.30126844 0020
  • AEG
  • AM71Z BA4
  • AEG
  • 0.37kw 8 pole AM90SAA8 AEG/Lafert
  • AEG
  • Thyro-A 2A 400-495 HF RL1 - 2.000.002.359
  • AEG
  • Thyro-A 2A 400-280 HF 1
  • AEG
  • 1S 400-170 HRL1 2000000897
  • AEG
  • THYRO P -1P 400 495HF
  • AEG
  • Thyro-A 2A 400-100 H RL1
  • AEG
  • Thyro-A 1A 400-60 H RLP1
  • AEG
  • Thyro-A 1A 400-45 H RLP1
  • AEG
  • Thyro-A 1A 400-30 H RLP1
  • AEG
  • Thyro-A 2A 400-280 HF 1
  • AEG
  • 2.000.000.400
  • AEG
  • Thyro-A 2A 400-170 H RL1-2.000.001.077
  • AEG
  • Thyro-A 2A 400-495 HF RLP1-2.000.002.395
  • AEG
  • Profibus-Steckkarte Nr:2.000.000.393
  • AEG
  • Thyro-A 2A 400-170 H RLP1
  • AEG
  • 2000000841 Busmodule Profibus DP
  • AEG
  • Thyro-A 2A 400-130 H 1
  • AEG
  • Thyro-S 1S 400-130 H RL1 - 2.000.000.896
  • AEG
  • Modell:AM 80Z CA 4 （B5 flange mounted ）1.1KW
  • AEG
  • Thyro-A 2A 400-60 H 1 - 2.000.001.014
  • AEG
  • Thyro-A 2A 400-170 H RL1-2.000.001.077
  • AEG
  • Thyro-A 2A 400-495 HF RL1 - 2.000.002.359
  • AEG
  • 1S400-100H RL1
  • AEG
  • 2.000.000.400
  • AEG
  • Profibus-Steckkarte Nr:2.000.000.393
  • AEG
  • Thyro-P 1P500-495HFASM
  • AEG
  • 1 Thyro-P Steuerger?t 2000000403
  • AEG
  • Thyro-A 2A400-130H1
  • AEG
  • Thyro-S 1S 400-45 H RL1-2.000.000.893
  • AEG
  • Thyro-P 1P500-37HASM
  • AEG
  • Thyro-P 1P500-280HFASM
  • AEG
  • Thyro-P 1P500-110HASM
  • AEG
  • Thyro-P 1P400-25HASM
  • AEG
  • THYRO P -1P 400 495HF
  • AEG
  • 6.000.016.474
  • AEG
  • Thyro-A 2A400-495HF RL1
  • AEG
  • 1S 400-130 H RL1
  • AEG
  • 1S 400-100 H RL1
  • AEG
  • AE 28 TDG 440D

AEG THYRO P -1P 400 495HF

AEG THYRO P -1P 400 495HF

AEG THYRO P -1P 400 495HF

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