TEM過濾(lǜ)器(qì)GasPro  TEM-160-24用於半(bàn)導體行(háng)業(yè)

GasPro TEM-100係(xì)列

電拋光外(wài)殼(ké)過濾(lǜ)器組(zǔ)件具(jù)有(yǒu)15Ra電(diàn)拋(pāo)光316L不鏽鋼外殼
，防止(zhǐ)腐蝕和腐蝕粒(lì)子在內(nèi)表麵上(shàng)堆積。

包裝(zhuāng)外清潔(jié)度我(wǒ)們的加(jiā)斯普(pǔ)羅(luó)? 清(qīng)潔(jié)TEM-100過(guò)濾器
，並在無塵室內(nèi)包裝
，不(bù)含(hán)有機(jī)成(chéng)分(fēn)處理包裝(zhuāng)外(wài)，無顆(kē)粒和(hé)無(wú)化學(xué)品清潔(jié)度。終(zhōng)組件(jiàn)被清(qīng)除用過(guò)濾氮(dàn)氣(qì)進(jìn)行(háng)初始(shǐ)清(qīng)潔。附(fù)加(jiā)的(dí)預處理是(shì)可選的(dí)。

多(duō)種配(pèi)件(jiàn)選(xuǎn)項
，便於(yú)安裝標準(zhǔn)配件選項包括端麵(miàn)/墊(diàn)片密(mì)封(fēng)
，壓縮，對(duì)焊和(hé)NPT。特(tè)殊配件(jiàn)
，包括三(sān)夾（三葉(yè)草(cǎo)）衛生和法(fǎ)蘭類型
，可根據要求提(tí)供。

氦泄漏測(cè)試(shì)所有(yǒu)裝置(zhì)均以1x10-9 atm cc/秒(miǎo)的(dí)速度進行測試。

零(líng)件(jiàn)號，入口/出口配(pèi)件(jiàn)，過濾(lǜ)介質/外殼(ké)，其(qí)他(tā)材料(liào)，長(cháng)度(dù)（L）

TEM-115-16 1.0“端(duān)麵密(mì)封入口(kǒu)/出口(kǒu)

PTFE/316L不鏽鋼鋼聚丙(bǐng)烯(xī)

氟(fú)橡膠(jiāo)密(mì)封件*899.9毫米（35.43英寸(cùn)）

TEM-128-24 1.5“FNPT入(rù)口/出口864 mm（34.0”）

TEM-150-24 1.5“短管入(rù)口(kǒu)/出(chū)口946.2 mm（37.25”）

TEM-160-24 1.5“三(sān)夾端889 mm（35.0”）

GasPro 過濾(lǜ)器(qì)TEM-150-24技(jì)術(shù)規格

GasPro?TEM-100在綫高流量(liáng)ePTFE濾(lǜ)器TEM-128-24

GasPro?TEM-100係列(liè)濾光片(piàn)的設計波(bō)長(cháng)為(wéi)3 nm顆粒截留(liú)率高達(dá)300 scfm
，以(yǐ)及溫度(dù)敢達80C（176°F）。ePTFE膜(mó)（2.04m2/22.0平(píng)方英(yīng)尺)帶(dài)著

聚(jù)丙烯(xī)支撐結構封閉在(zài)不鏽鋼316L外殼(ké)
，具(jù)有(yǒu)的流動性(xìng)和(hé)穩定(dìng)性耐化學(xué)性。使用(yòng)標準Viton o形(xíng)圈(quān)（其(qí)他o形(xíng)圈材料(liào)可在(zài)重新測試(shì)時獲得）。TEM過(guò)濾器(qì)GasPro  TEM-160-24用於半(bàn)導體行(háng)業

應用(yòng)

?一(yī)般(bān)和工藝(yì)惰(duò)性氣(qì)體設施半導體(tǐ)，平(píng)板(bǎn)顯示器和其(qí)他高純度應(yīng)用(yòng)。

?用於(yú)關鍵平板工藝的(dí)氣體
，包括襯底退火。

?關鍵工(gōng)藝的清(qīng)潔(jié)幹燥空(kōng)氣(qì)
，包括：前(qián)開口(kǒu)統一吊(diào)艙（FOUP）清(qīng)潔和(hé)安(ān)裝光刻(kè)。

規格(gé)

?過濾等(děng)級(jí)我(wǒ)們(mén)的多孔(kǒng)ePTFE濾光(guāng)片可(kě)提供有效的3納米濾(lǜ)光片顆(kē)粒保(bǎo)留(liú)。

?高工作(zuò)溫度*80攝(shè)氏度（176華氏度）。

建(jiàn)議(yì)更換(huàn)：在69C（156°F））以(yǐ)上(shàng)運(yùn)行6個月。

?大(dà)工(gōng)作壓(yā)力在(zài)20°C（68°F）條(tiáo)件下為(wéi)17.2bar（250 psig）。

?大(dà)正(zhèng)向流(liú)量壓(yā)差(chà)

20?C（68?F）：6.0bar（87磅/平方英(yīng)寸(cùn)）

80?C（176?F）：4.0bar磅(bàng)/平方(fāng)英(yīng)寸）