美國TEM-250-24過(guò)濾器功(gōng)能和(hé)優點(diǎn)

GasPro™ TEM-200係(xì)列濾波器設(shè)計用於(yú)3 nm顆粒截留(liú)率(shuài)高達200 scfm，且(qiě)溫(wēn)度(dù)高達80?C（176F）。ePTFE膜（1.36 m2/14.6平(píng)方英(yīng)尺(chǐ))使(shǐ)用(yòng)聚(jù)丙烯支撐結構封閉在

316L不(bù)鏽(xiù)鋼外殼，具(jù)有(yǒu)的(dí)流動性和耐化學性。使(shǐ)用標準(zhǔn)Vitono形圈(quān)（其他o形圈材料可在重新(xīn)測試(shì)時獲得）。

TEM-250-24過(guò)濾器應(yīng)用(yòng)

•一(yī)般和(hé)工藝(yì)惰性(xìng)設施氣體。

•關(guān)鍵工藝的(dí)清潔幹燥(zào)空氣(qì)（CDA*），包括(kuò)

前開口統一吊艙（FOUP）清潔(jié)和光(guāng)刻。

TEM-250-24過濾(lǜ)器規格(gé)

•過(guò)濾等級(jí)

我(wǒ)們(mén)的(dí)多(duō)孔ePTFE過濾(lǜ)器可提(tí)供有(yǒu)效(xiào)的(dí)3 nm顆粒(lì)保留。

•高(gāo)工作(zuò)溫(wēn)度(dù)*80°C（176°F）。

建議更(gēng)換：在69ºC（156ºF）以(yǐ)上(shàng)運行6個(gè)月(yuè)。

•大(dà)工(gōng)作(zuò)壓(yā)力(lì)20°C（68°F）時為17.2 bar（250 psig）。

•大(dà)正(zhèng)向流(liú)量(liáng)壓差20ºC（68ºF）：6.0 bar（87 psi）

80ºC（176ºF）：4.0 bar（58 psi）

TEM-250-24過濾器(qì)功(gōng)能(néng)和優(yōu)點(diǎn)

•電(diàn)拋(pāo)光(guāng)外殼(ké)

過(guò)濾器組件具(jù)有(yǒu)15Ra電(diàn)拋(pāo)光(guāng)316L不(bù)鏽鋼(gāng)外(wài)殼，防止腐蝕和粒(lì)子(zǐ)在(zài)內表(biǎo)麵(miàn)上積聚。

•包裝(zhuāng)外清潔度(dù)

我(wǒ)們的(dí)GasPro™ 清潔(jié)TEM-200過濾(lǜ)器(qì)，並(bìng)包(bāo)裝(zhuāng)在(zài)無塵(chén)室內(nèi)，不(bù)含有機(jī)物包裝外(wài)，無顆粒和(hé)無(wú)化(huà)學品清潔(jié)度(dù)。終組裝已(yǐ)清除(chú)使用過濾氮氣進行初始(shǐ)清潔。附加的預處理(lǐ)是(shì)可選的。

•多(duō)種(zhǒng)配件(jiàn)選(xuǎn)項，便(biàn)於安裝標(biāo)準配(pèi)件選(xuǎn)項包括(kuò)端麵(miàn)/墊片密(mì)封，壓(yā)縮(suō)，對焊(hàn)和NPT。特殊配件，包括(kuò)三(sān)夾鉗（三葉草）衛(wèi)生(shēng)和(hé)法蘭類(lèi)型，可根據(jù)要(yào)求(qiú)提供。

•氦泄(xiè)漏(lòu)測(cè)試

所(suǒ)有(yǒu)裝(zhuāng)置(zhì)均(jūn)以(yǐ)1x10-9 atm cc/s的速度(dù)進行(háng)測(cè)試(shì)。

美國(guó)TEM-311-24過濾器參數:

我(wǒ)們的多孔(kǒng)ePTFE過(guò)濾器提供(gōng)有(yǒu)效的顆(kē)粒(lì)滯(zhì)留3 nm。 

高工(gōng)作溫度(dù)* 80°C(176°F)。 建議(yì)更換:在(zài)69C(156F)以上(shàng)工作6個月。 

大工(gōng)作壓力17.2 bar (250 psig) @ 20°C(68°F)。 

大正向差壓20C(68F): 6.0 bar (87 psi) 80?C(176F): 4.0 bar (58 psi)  

一(yī)般(bān)和(hé)工藝(yì)惰性(xìng)設施(shī)氣體，用於(yú)半導體，脂肪板(bǎn)顯示和其他(tā)高(gāo)純(chún)度應用。 G酶用於關鍵的(dí)脂(zhī)肪板工藝(yì)，包(bāo)括(kuò)襯底(dǐ)退火(huǒ)。 對於(yú)關鍵工(gōng)藝，包括前(qián)開口統一(yī)吊(diào)艙(FOUP)清(qīng)洗(xǐ)和光刻，采(cǎi)用(yòng)稀薄(báo)幹燥(zào)的空氣。  

TEM-200零件(jiàn)號和(hé)訂購(gòu)信息

零件號入口/出口配(pèi)件過(guò)濾介(jiè)質/外殼(ké)其他(tā)材料長度（L）

TEM-215-16 1.0“陽(yáng)墊圈密封(fēng)入口(kǒu)/出口

PTFE/316L不(bù)鏽(xiù)鋼聚(jù)丙烯

氟橡(xiàng)膠®密封*658.4毫米（25.92英(yīng)寸(cùn)）

TEM-228-16 1.0“內(nèi)螺紋NPT入口/出口640.1 mm（25.2"）

TEM-250-24 1.5“短管入(rù)口(kǒu)/出口(kǒu)637.5 mm（25.1"）

TEM-250-32 2.0“短管入(rù)口(kǒu)/出(chū)口637.5 mm（25.1"）

TEM-260-DN50法(fǎ)蘭(lán)（詳見圖紙）643.1 mm（25.32"）