GasPro™過(guò)濾(lǜ)器TEM-150-24短管入口(kǒu)/出口技術(shù)規(guī)格

GasPro™TEM-100係列(liè)

•電拋光外殼(ké)過濾器組件(jiàn)具(jù)有15Ra電(diàn)拋光316L不鏽鋼外(wài)殼，防(fáng)止(zhǐ)腐(fǔ)蝕和腐(fǔ)蝕(shí)粒(lì)子在內表(biǎo)麵上堆(duī)積(jī)。

•包(bāo)裝外清潔度我們的加斯普羅™ 清潔(jié)TEM-100過(guò)濾(lǜ)器(qì)，並在無(wú)塵(chén)室(shì)內包裝，不含有(yǒu)機成(chéng)分(fēn)處(chǔ)理(lǐ)包裝(zhuāng)外(wài)，無顆(kē)粒和無(wú)化(huà)學(xué)品清潔度(dù)。終組件被(bèi)清(qīng)除(chú)用過濾氮氣進(jìn)行(háng)初始清潔。附(fù)加的預(yù)處理(lǐ)是(shì)可選的。

•多種配件(jiàn)選項，便(biàn)於(yú)安(ān)裝標準(zhǔn)配(pèi)件(jiàn)選項(xiàng)包括端麵/墊片(piàn)密(mì)封，壓(yā)縮，對(duì)焊和NPT。特殊(shū)配件(jiàn)，包(bāo)括(kuò)三夾（三葉(yè)草(cǎo)）衛生和法(fǎ)蘭(lán)類(lèi)型(xíng)，可根(gēn)據(jù)要求提(tí)供。

•氦泄漏(lòu)測(cè)試所有(yǒu)裝(zhuāng)置均(jūn)以(yǐ)1x10-9 atm cc/秒(miǎo)的(dí)速(sù)度(dù)進(jìn)行(háng)測(cè)試。

零件號(hào)，入口(kǒu)/出口配件(jiàn)，過濾介質/外殼，其他材料(liào)，長度(dù)（L）

TEM-115-16 1.0“端(duān)麵(miàn)密(mì)封入(rù)口/出口

PTFE/316L不鏽鋼鋼聚丙(bǐng)烯

氟橡膠®密封件*899.9毫米（35.43英(yīng)寸）

TEM-128-24 1.5“FNPT入(rù)口(kǒu)/出口(kǒu)864 mm（34.0"）

TEM-150-24 1.5“短(duǎn)管入口(kǒu)/出(chū)口946.2 mm（37.25"）

TEM-160-24 1.5“三(sān)夾端889 mm（35.0"）

GasPro™TEM-100在(zài)綫高(gāo)流量(liáng)ePTFE濾器(qì)TEM-128-24

GasPro™TEM-100係(xì)列濾光(guāng)片的設(shè)計波長(cháng)為(wéi)3 nm顆粒截(jié)留率高達300 scfm，以(yǐ)及(jí)溫度敢(gǎn)達(dá)80ºC（176ºF）。ePTFE膜（2.04m2/22.0平方(fāng)英尺(chǐ))帶著(zhuó)

聚丙(bǐng)烯(xī)支(zhī)撐結構封閉在不鏽(xiù)鋼(gāng)316L外(wài)殼，具(jù)有(yǒu)的(dí)流(liú)動性和(hé)穩定(dìng)性(xìng)耐(nài)化(huà)學(xué)性。使(shǐ)用(yòng)標(biāo)準(zhǔn)Viton®o形(xíng)圈（其他o形(xíng)圈材料(liào)可在重新測試(shì)時獲得）。

應用(yòng)

•一般和工藝(yì)惰(duò)性(xìng)氣體設施半導體(tǐ)，平板顯(xiǎn)示器和(hé)其他(tā)高(gāo)純度(dù)應(yīng)用(yòng)。

•用於(yú)關鍵(jiàn)平板(bǎn)工藝的氣體，包(bāo)括襯(chèn)底退(tuì)火。

•關鍵工藝的(dí)清潔(jié)幹(gān)燥(zào)空(kōng)氣(qì)，包(bāo)括：前開口(kǒu)統一吊艙（FOUP）清潔和安(ān)裝光刻。

規(guī)格

•過(guò)濾等級我們的(dí)多孔ePTFE濾光(guāng)片可提供(gōng)有(yǒu)效的3納米濾(lǜ)光片(piàn)顆粒(lì)保留。

•高工作溫(wēn)度*80攝(shè)氏度(dù)（176華氏度）。

建議更換：在(zài)69ºC（156ºF）以(yǐ)上(shàng)運行6個(gè)月。

•大工(gōng)作壓力(lì)在20°C（68°F）條件(jiàn)下(xià)為(wéi)17.2bar（250 psig）。

•大正向流量(liáng)壓(yā)差

20ºC（68ºF）：6.0bar（87磅(bàng)/平方英(yīng)寸）

80ºC（176ºF）：4.0bar磅/平方英(yīng)寸(cùn)）