GasPro™ 過(guò)濾器TEM-3715-8用於(yú)集(jí)成電路(lù)行業

TEM-3700超高純度(dù)鎳(niè)316L在綫過(guò)濾(lǜ)3700超高(gāo)純(chún)度鎳(niè)316L在(zài)綫(xiàn)過濾(lǜ)

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GasPro公(gōng)司 TEM-3700係(xì)列過濾器

用(yòng)於(yú)過(guò)濾超高(gāo)壓半(bàn)導體(tǐ)氣(qì)體(tǐ)當采(cǎi)用(yòng)緊(jǐn)湊，全金屬，耐腐蝕(shí)設(shè)計(jì)時是必需的。這種全焊接組件將提(tí)供3nm需要低壓降時(shí)的(dí)顆(kē)粒滯留空間有限。

鎳介質(zhì)封(fēng)裝(zhuāng)在(zài)316L不鏽鋼全(quán)焊接過濾(lǜ)器(qì)中(zhōng)，具有(yǒu)良好的(dí)烘(hōng)烤(kǎo)特性用(yòng)於快速幹(gān)燥和(hé)在綫鑒(jiàn)定。標準(zhǔn)半導體工(gōng)業(yè)配(pèi)件用於易(yì)於(yú)安(ān)裝。

TEM-3700技術規格

•過濾等級(jí)有效(xiào)的(dí)3 nm顆粒保留。

•高工作(zuò)溫度惰性(xìng)氣體中為200°C（392°F）。

•大工作壓力3700，3740，3370係(xì)列(liè)：20°C（68°F）時(shí)為(wéi)206.8 bar（3000 psig）。

功能和優(yōu)點

•電拋(pāo)光(guāng)外殼(ké)過濾(lǜ)器組(zǔ)件具(jù)有15Ra電拋(pāo)光316L不鏽鋼(gāng)外殼，防止腐蝕(shí)和內(nèi)表(biǎo)麵上(shàng)的(dí)顆粒堆積。

•包(bāo)裝(zhuāng)外清潔(jié)度(dù)

我們的GasPro™ 清潔TEM-3700過濾器包裝在無有(yǒu)機物的(dí)潔淨室(shì)中(zhōng)包裝外，無顆粒(lì)和無化學清潔(jié)度。淨化總裝用過(guò)濾(lǜ)氮氣進(jìn)行(háng)初始清潔。附(fù)加的(dí)預處(chǔ)理是可選的。

•施工

316L封(fēng)裝的燒結鎳纖維介(jiè)質(zhì)不(bù)鏽(xiù)鋼外殼。

•氦泄漏(lòu)測試所(suǒ)有裝(zhuāng)置均測(cè)試為(wéi)1x10-9 atm cc/s。