美(měi)國(guó)GasPro TEM-100過(guò)濾器PTFE產(chǎn)品(pǐn)介(jiè)紹

TEM-100高(gāo)流(liú)量(liáng)ePTFE串聯(lián)濾(lǜ)器

GasPro TEM-100係列濾(lǜ)波(bō)器(qì)設(shè)計(jì)用(yòng)於(yú)3 nm顆粒截(jié)留率(shuài)高(gāo)達300 scfm，且溫度(dù)高達80C（176 F）。ePTFE膜(mó)（2.04 m2/22.0平(píng)方(fāng)英尺)使(shǐ)用(yòng)聚(jù)丙(bǐng)烯(xī)支(zhī)撐結構(gòu)封閉在316L不鏽(xiù)鋼外(wài)殼，具有(yǒu)的流(liú)動性和耐(nài)化學性(xìng)。使用(yòng)標(biāo)準Viton O形圈(quān)（其他O形(xíng)圈材(cái)料可在(zài)重(zhòng)新(xīn)測試(shì)時獲得(dé)）。

TEM-100過濾器應(yīng)用程(chéng)序

•通(tōng)用和工(gōng)藝(yì)惰(duò)性氣體設施半(bàn)導體，平板(bǎn)顯示器等高純度產品應(yīng)用程序。

•用於關鍵(jiàn)平(píng)板(bǎn)工(gōng)藝的氣體，包括基板退(tuì)火。

•關(guān)鍵工藝的清潔幹燥(zào)空(kōng)氣，包(bāo)括前開口統一(yī)吊(diào)艙（FOUP）清潔(jié)和(hé)光刻

TEM-100規格(gé)說明

•過(guò)濾(lǜ)等級我(wǒ)們的(dí)多(duō)孔(kǒng)ePTFE過(guò)濾(lǜ)器可(kě)提供有(yǒu)效(xiào)的3 nm顆粒(lì)保留(liú)。

•高工作溫(wēn)度*80°C（176°F）。

建議(yì)更換(huàn)：在(zài)69ºC（156ºF）以上運行(háng)6個(gè)月(yuè)。

•大(dà)工作(zuò)壓力20°C（68°F）時(shí)為17.2 bar（250 psig）。

•大(dà)正向(xiàng)流(liú)量壓差(chà)20ºC（68ºF）：6.0bar（87 psi）

80ºC（176ºF）：4.0bar（58 psi）

TEM-100功能(néng)和優(yōu)點(diǎn)

•電拋(pāo)光(guāng)外(wài)殼過濾(lǜ)器組(zǔ)件具(jù)有15Ra電拋光316L不鏽(xiù)鋼外殼，防止腐(fǔ)蝕和(hé)粒(lì)子(zǐ)在(zài)內表麵上積聚(jù)。

•包裝外(wài)清潔(jié)度

我們的(dí)GasPro™ 清潔TEM-100過(guò)濾(lǜ)器(qì)，並(bìng)包(bāo)裝在無塵室內，不含有機物包裝外，無顆(kē)粒和(hé)無化學品清(qīng)潔度。終(zhōng)組裝已清除(chú)使用(yòng)過濾氮氣進行(háng)初始清潔。附加(jiā)的預(yù)處理(lǐ)是可(kě)選的(dí)。

•多(duō)種(zhǒng)配件(jiàn)選項(xiàng)，便於安裝標準配(pèi)件選項包(bāo)括(kuò)端麵/墊片(piàn)密封，壓(yā)縮(suō)，對焊(hàn)和(hé)NPT。特殊(shū)配件(jiàn)，包括(kuò)三夾(jiā)鉗(qián)（三(sān)葉(yè)草(cǎo)）衛生和(hé)法(fǎ)蘭(lán)類型(xíng)，可根(gēn)據(jù)要求(qiú)提(tí)供。

•氦泄漏測(cè)試(shì)所有裝(zhuāng)置(zhì)均(jūn)以1x10-9 atm cc/s的速(sù)度進行(háng)測試。

TEM-115-16 1.0“端麵密封(fēng)入口(kǒu)/出口(kǒu)

PTFE/316L不(bù)鏽(xiù)鋼

鋼(gāng)聚丙(bǐng)烯

氟橡膠®密(mì)封*899.9毫米（35.43英寸）

TEM-128-24 1.5“FNPT入口/出口(kǒu)864 mm（34.0"）

TEM-150-24 1.5“短(duǎn)管入(rù)口(kǒu)/出口(kǒu)946.2 mm（37.25"）

TEM-160-24 1.5“三夾端889 mm（35.0"）

美國(guó)GasPro TEM-100過濾器(qì)PTFE產品介紹(shào)