TEM過濾(lǜ)器TEM-128-24規格參(cān)數(shù)

GasPro™  TEM-100高(gāo)流量ePTFE串聯濾器(qì)TEM-128-24規(guī)格(gé)參(cān)數(shù)

GasPro™  TEM-100係(xì)列濾波(bō)器(qì)設計用於(yú)3 nm顆粒截(jié)留率(shuài)高(gāo)達(dá)300 scfm，且溫度高(gāo)達80?C（176F）。ePTFE膜（2.04 m2/22.0平(píng)方(fāng)英尺)使(shǐ)用聚丙烯支(zhī)撐結(jié)構(gòu)封閉(bì)在(zài)316L不(bù)鏽(xiù)鋼外殼，具有的(dí)流動性和(hé)耐化學(xué)性(xìng)。使(shǐ)用標(biāo)準(zhǔn)Viton o形(xíng)圈（其他o形(xíng)圈(quān)材料可(kě)在(zài)重(zhòng)新測試(shì)時獲(huò)得(dé)）。

TEM-100係列應用

•通用和工(gōng)藝惰(duò)性氣(qì)體設施半(bàn)導體
，平板顯(xiǎn)示器和(hé)其他(tā)高純(chún)度(dù)應用。

•用於關鍵(jiàn)平板工藝(yì)的氣(qì)體(tǐ)，包(bāo)括基(jī)板退火。

•關(guān)鍵工藝的清潔幹燥(zào)空氣，包括前(qián)開口統(tǒng)一(yī)吊(diào)艙(cāng)（FOUP）清潔和(hé)光(guāng)刻。

TEM-100係(xì)列規格(gé)

•過濾等(děng)級(jí)我(wǒ)們(mén)的多孔(kǒng)ePTFE過濾(lǜ)器可提(tí)供(gōng)有效(xiào)的3 nm顆(kē)粒保(bǎo)留。

•高(gāo)工(gōng)作溫度*80°C（176°F）。

建議更換(huàn)：在69ºC（156ºF）以上運(yùn)行6個月。

•大工(gōng)作(zuò)壓(yā)力(lì)20°C（68°F）時(shí)為(wéi)17.2 bar（250 psig）。

•大(dà)正(zhèng)向流量(liáng)壓差20ºC（68ºF）：6.0bar（87 psi）80ºC（176ºF）：4.0bar（58 psi）

TEM-100係(xì)列功(gōng)能和(hé)優點

•電拋(pāo)光(guāng)外(wài)殼過(guò)濾器(qì)組件(jiàn)具有15Ra電(diàn)拋(pāo)光(guāng)316L不鏽鋼(gāng)外殼，防止腐(fǔ)蝕和粒子在內(nèi)表麵(miàn)上積(jī)聚。

•包(bāo)裝外清潔(jié)度我(wǒ)們的(dí)GasPro™ 清潔TEM-100過濾(lǜ)器，並(bìng)包(bāo)裝在無塵(chén)室內，不(bù)含(hán)有(yǒu)機物(wù)包(bāo)裝外
，無(wú)顆粒和無化(huà)學品清潔(jié)度。終(zhōng)組(zǔ)裝已(yǐ)清除(chú)使(shǐ)用過濾(lǜ)氮氣進行初始(shǐ)清潔(jié)。附加的預(yù)處理(lǐ)是(shì)可選(xuǎn)的(dí)。

•多(duō)種(zhǒng)配(pèi)件選(xuǎn)項，便(biàn)於安(ān)裝(zhuāng)標準配(pèi)件選項(xiàng)包括端麵(miàn)/墊片(piàn)密封(fēng)，壓縮(suō)
，對焊和(hé)NPT。特殊配件，包括三夾(jiā)鉗(qián)（三葉(yè)草）衛(wèi)生(shēng)和法蘭類(lèi)型(xíng)，可根據要求(qiú)提(tí)供。

•氦泄漏(lòu)測試(shì)所有(yǒu)裝(zhuāng)置(zhì)均(jūn)以1x10-9 atm cc/s的(dí)速(sù)度(dù)進(jìn)行測試。

零件(jiàn)號(hào)入(rù)口(kǒu)/出口配(pèi)件過(guò)濾(lǜ)介質/外殼其他材料(liào)長(cháng)度(dù)（L）

TEM-115-16 1.0“端(duān)麵(miàn)密封入口(kǒu)/出(chū)口(kǒu)

PTFE/316L不鏽鋼

鋼TEM過(guò)濾(lǜ)器(qì)TEM-128-24規(guī)格參數

聚(jù)丙(bǐng)烯

氟橡(xiàng)膠®密封*899.9毫(háo)米(mǐ)（35.43英(yīng)寸(cùn)）

TEM-128-24 1.5“FNPT入口/出口864 mm（34.0”）

TEM-150-24 1.5“短管入(rù)口(kǒu)/出口946.2 mm（37.25”）

TEM-160-24 1.5“三(sān)夾端(duān)889 mm（35.0”）