美國GasPro過濾(lǜ)器TEM-150-241.5“短管入(rù)口/出(chū)口(kǒu)946.2 mm（37.25"）

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TEM-100功(gōng)能(néng)和優點

•電拋光(guāng)外(wài)殼(ké)過濾器(qì)組(zǔ)件具(jù)有15Ra電拋光(guāng)316L不(bù)鏽(xiù)鋼(gāng)外殼，防(fáng)止腐(fǔ)蝕(shí)和粒子在內(nèi)表麵上(shàng)積聚(jù)。

•包(bāo)裝外清(qīng)潔度(dù)

我(wǒ)們的(dí)GasPro™ 清潔(jié)TEM-100過(guò)濾器，並(bìng)包(bāo)裝(zhuāng)在(zài)無塵室內(nèi)，不含有機物包(bāo)裝外(wài)，無顆粒(lì)和無化學品清(qīng)潔度(dù)。終組裝已(yǐ)清除使(shǐ)用過(guò)濾(lǜ)氮(dàn)氣進(jìn)行初始清潔。附加(jiā)的預處(chǔ)理(lǐ)是可選的(dí)。

•多(duō)種配(pèi)件(jiàn)選(xuǎn)項，便於安裝標準配件選(xuǎn)項包(bāo)括端麵/墊片(piàn)密(mì)封，壓縮，對焊和(hé)NPT。特(tè)殊配(pèi)件(jiàn)，包括三夾鉗（三葉(yè)草）衛(wèi)生和法(fǎ)蘭(lán)類型(xíng)，可根據(jù)要求提供。

•氦(hài)泄漏(lòu)測試(shì)所有裝置均(jūn)以1x10-9 atm cc/s的(dí)速(sù)度進(jìn)行測(cè)試(shì)。

TEM-115-16 1.0“端(duān)麵(miàn)密(mì)封(fēng)入(rù)口/出口

PTFE/316L不鏽(xiù)鋼(gāng)

鋼聚(jù)丙(bǐng)烯(xī)

氟橡膠®密封(fēng)*899.9毫(háo)米(mǐ)（35.43英(yīng)寸(cùn)）

TEM-128-24 1.5“FNPT入口(kǒu)/出口864 mm（34.0"）

TEM-150-24 1.5“短管入口(kǒu)/出口946.2 mm（37.25"）

TEM-160-24 1.5“三夾端(duān)889 mm（35.0"）

 TEM-100高流(liú)量(liáng)ePTFE串聯濾器(qì)產品介紹(shào)

TEM-100高(gāo)流量ePTFE串聯濾(lǜ)器(qì)

GasPro TEM-100係(xì)列濾(lǜ)波(bō)器設(shè)計(jì)用於3 nm顆粒(lì)截留率(shuài)高(gāo)達300 scfm，且(qiě)溫(wēn)度高達80C（176 F）。ePTFE膜（2.04 m2/22.0平(píng)方英(yīng)尺(chǐ))使用聚丙烯支撐(chēng)結構(gòu)封閉(bì)在(zài)316L不(bù)鏽鋼外殼，具有的流動性和耐(nài)化(huà)學性(xìng)。使用標(biāo)準Viton O形(xíng)圈（其(qí)他(tā)O形圈材料可在重新(xīn)測(cè)試時獲得）。

TEM-100過濾器應(yīng)用程(chéng)序(xù)

•通用和工藝惰性氣體(tǐ)設施半導體，平板顯示器等高純(chún)度產(chǎn)品(pǐn)應(yīng)用(yòng)程序(xù)。

•用(yòng)於關鍵(jiàn)平板工(gōng)藝的(dí)氣(qì)體，包(bāo)括基板退(tuì)火。

•關鍵工藝(yì)的清潔(jié)幹(gān)燥空(kōng)氣(qì)，包(bāo)括前開口統(tǒng)一吊艙(cāng)（FOUP）清潔和(hé)光(guāng)刻

TEM-100規格(gé)說明(míng)

•過濾(lǜ)等級(jí)我(wǒ)們的多(duō)孔ePTFE過濾器可(kě)提供(gōng)有效的3 nm顆粒(lì)保(bǎo)留。

•高工作溫(wēn)度(dù)*80°C（176°F）。

建議更換：在(zài)69ºC（156ºF）以上(shàng)運行(háng)6個月(yuè)。

•大(dà)工(gōng)作壓力(lì)20°C（68°F）時(shí)為17.2 bar（250 psig）。

•大(dà)正(zhèng)向(xiàng)流(liú)量(liáng)壓差20ºC（68ºF）：6.0bar（87 psi）

80ºC（176ºF）：4.0bar（58 psi）